Serie GF100

GF100 Series Controladores de Flujo Másico Térmicos Sellados Metálicos y Medidores

Paso de flujo de alta pureza. Rendimiento, fiabilidad y repetibilidad excepcionales.

Modelos GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121

Entrega rápida y repetible de gases de proceso con altos y ultra altos niveles de pureza: ese es el rendimiento que proporciona la serie GF100 de controladores y medidores de flujo másico sellados con metal. Diseñada para aplicaciones de control de flujo de semiconductores, MOCVD y otras aplicaciones de control de flujo de gas, la serie GF100 supera el estándar de la industria de semiconductores en cuanto a fiabilidad, garantizando un rendimiento repetible y altamente estable a lo largo del tiempo. La tecnología estándar MultiFloTM permite que un MFC admita miles de tipos de gas y combinaciones de rangos sin necesidad de retirarlo de la línea de gas ni comprometer la precisión.

El resultado: una mayor flexibilidad y eficiencia del proceso combinada con los más altos niveles de pureza del gas de proceso de la industria para ayudar a maximizar el rendimiento y la productividad.

 

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Descripción

Características
  • Estabilidad cero a largo plazo de <±0,5% del fondo de escala al año
  • Tiempos de asentamiento: 700 ms – <1 segundo
  • Caudales a gran escala de hasta 300 slpm
  • Paso de flujo de sellado totalmente metálico: opción para acabados de superficie Ra de 4µ o 10µ pulgadas
  • El sensor Hastelloy® T-Rise resistente a la corrosión mejora la reproducibilidad de la medición a temperaturas elevadas
  • MultiFloTM programación de gas y rango: un dispositivo, miles de tipos de gas y combinaciones de rango sin retirar el MFC de la línea de gas ni comprometer la precisión.
  • Visualización local
  • Entrega opcional de gas SDS
  • DeviceNetTM, RS-485 L-Protocol e interfaces analógicas
Beneficios
  • Maratón de componentes de alto rendimiento probados según siete veces los estándares de la industria de semiconductores para garantizar su fiabilidad.
  • El paso de flujo totalmente metálico, resistente a la corrosión, con un área de superficie reducida y volúmenes no barridos, garantiza un secado más rápido durante los pasos de purga.
  • Con MultiFloTM, se pueden ajustar nuevos gases de proceso y/o rangos en menos de 60 segundos – no más remoción y calibración de MFCs.
  • La plataforma altamente configurable permite reemplazar y actualizar la mayoría de las marcas de MFC sellados con metal, incluyendo las marcas anteriores Celerity, Mykrolis, Tylan y UNIT.
  • GF120 Safe Delivery System (SDS®) es el controlador de flujo másico de baja pérdida de carga de última generación de Brooks para el suministro de gases del sistema de suministro seguro a nivel subatmosférico (SDS) utilizados en los procesos de implante y grabado.
  • La cómoda pantalla de usuario y el puerto de diagnóstico/servicio independiente facilitan la instalación, el control y la resolución de problemas del dispositivo.
Aplicaciones clave
  • Herramientas de grabado de semiconductores
  • Sistemas de deposición química por vapor de película delgada (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Sistemas de deposición física de vapor (PVD)
  • Sistemas de procesos epitaxiales
Especificaciones

Tipo de producto

Controlador de flujo másico

Diferenciador

Alta pureza/Ultra-Alta pureza
Serie GF estándar
Serie GF de alto caudal

Desempeño

Rango de flujo (capacidad de escala completa)

Serie GF estándar: 3 sccm – 55 slm
Serie GF de alto caudal: 55 slm – 300 slm

Precisión

±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35%

Repetibilidad

< ±0.15% S.P.

Linealidad

±0.5% F.S. (incluido en la precisión)

Tiempo de respuesta

Válvula normalmente cerrada: 700 ms – < 1 seg.
Entrega de gas SDS: 3 seg. < 3 seg.

Tiempo de respuesta

Válvula normalmente abierta: <1,5 segundos (modelos específicos)

Configurabilidad Multi-Gas y Gama

MultiFlo™ Estándar (la mayoría de los modelos)

Insensibilidad transitoria a la presión

Rango de control

Serie GF estándar: < 3-100%
Serie GF de alto caudal: 5-100%

Número de ubicaciones

Serie GF estándar: 11 cubos
Serie GF de alto caudal: 4 cubos

Válvula de cierre

Serie GF estándar: < 1% F.S.
Serie GF de alto caudal: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

Estabilidad cero

< ±0.5% F.S. al año

Coeficiente de Temperatura de Flujo

Span: 0.05% S.P. per °C
Zero: 0.005% F.S. per °C

Mecánico

Material del sello

Metal

Nivel de pureza / Acabado de la superficie

4 – 10µ inch Ra

Materiales mojados

Cumple con SEMI F20 HP/UHP
316L VIM/VAR
Hastelloy C-22
Acero inoxidable 316L
Acero inoxidable 304
KM-45

Opciones de válvulas

Normalmente cerrado
Normalmente abierto (sólo en determinados modelos)
Medidor (sin válvula)

Calificaciones

Temperatura máxima

50oC

Rango de presión diferencial

3-860 sccm = 7-45 psid
861-7200 sccm = 10-45 psid
7201-55000 sccm = 15-45 psid
51 slm-300 slm = 30-90 psid
*Caídas de presión típicas. Póngase en contacto con el servicio de asistencia técnica de Brooks para obtener más información.

Presión Máxima

Serie GF estándar: 500 psia máx.
Serie GF de alto caudal: 75 psig (controlador), 150 psig (medidor)

Integridad de las fugas

1×10-10 atm cc/sec He

Diagnóstico y visualización

Capacidad de diagnóstico

Disponible

Luces de estado

MFC Salud
Estado de la red

Alarmas

Salida de la válvula de control
Interrupción de la red

Diagnóstico / Puerto de servicio

RS-485 via 2.5mm jack (all models)

Pantalla

LCD integrado de montaje superior
Ángulo de visión: Fijo
Distancia de visión: 10 pies
Unidades mostradas: Caudal (%), Temperatura (°C), Presión (psia, kPa)
Resolución: 0,1 (unidad)

Eléctrico

Comunicación analógica

0-5 Vdc

Comunicación Digital

DeviceNet™
Protocolo L RS485

Conexión eléctrica

Analógico/RS485 a través de conector “D” de 9 clavijas
DeviceNet™ a través del conector “M12” de 5 polos
Varios adaptadores de cable disponibles. Consulte la hoja de datos del producto para obtener más información.

Power Supply / Consumption

Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)
DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc
(Under typical operating conditions)

Cumplimiento

EMC

Directiva 2004/108/CE de la CE
CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 y Canada IC-subset of CE testing)

Cumplimiento de la normativa medioambiental

Directiva RoHS (2011/65/EU)
REACH Directiva CE 1907/2006

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