Serie XacTorr®

Manómetros de capacitancia serie XacTorr

Minimizar la deriva y los efectos térmicos. Maximizar los resultados del proceso de vacío.

Modelos CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3

Maximice la eficiencia y el rendimiento de sus procesos dependientes del vacío: Elija manómetros digitales de capacitancia de vacío serie XacTorr® de Brooks Instrument. Los dispositivos de la serie XacTorr® incorporan características líderes en la industria que mejoran la fiabilidad de las mediciones, minimizan la deriva, resisten la contaminación del diafragma y minimizan los efectos térmicos.

El avanzado sensor Mark-IV contiene áreas de superficie que no se utilizan en la medición de la presión, proporcionando ubicaciones para la acumulación de partículas y vapores condensables. Esto reduce la necesidad de volver a poner a cero el medidor y aumenta la vida útil del sensor sin arriesgar la deriva del sensor. Además, un sensor de respuesta rápida opcional está disponible para un rendimiento superior de control de lazo cerrado.

El resultado: una medición de vacío ultra precisa, repetible y eficiente que asegura que cada vez que se evacua una cámara, ésta alcanza el Torr preciso que su proceso requiere para una producción limpia y libre de contaminantes.

 

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Descripción

Características
  • Disponible para rangos de proceso de 0.10 Torr a 1000 Torr
  • Múltiples niveles de precisión disponibles
  • Sensor Mark IV patentado
  • La arquitectura digital permite el funcionamiento en un amplio rango dinámico con una precisión extremadamente buena.
  • El control de temperatura en dos zonas mejora la estabilidad y repetibilidad de la medición
  • La calibración digital de varias décadas proporciona una ventana superior de precisión conocida
  • Ajuste del cero Intelli-touch
  • Puerto de servicio de diagnóstico independiente y de fácil acceso
  • Opciones de comunicación DeviceNet® y analógica
Beneficios
  • Menor deriva, protección superior contra la deposición de gases de proceso
  • Eliminación de potenciómetros manuales y deriva asociada a la electrónica
  • Calentamiento rápido, control de temperatura cercano, respuesta rápida a los cambios
  • La calibración de varias décadas proporciona una ventana superior de precisión conocida, compensación en tiempo real de los efectos de la temperatura ambiente
  • No se puede poner a cero si la presión es demasiado alta o si no se alcanza la temperatura deseada
  • El puerto de diagnóstico permite la monitorización y la adquisición de datos simultáneamente con el funcionamiento del dispositivo para la adaptación de la cámara y la herramienta, junto con la resolución avanzada de problemas en “tiempo real”.
Aplicaciones
  • Fabricación de semiconductores
  • Procesos de deposición en capa delgada – recubrimientos de vidrio, tela y ópticos
  • Materiales perecederos liofilizados
  • Recubrimientos de alta tecnología para instrumentos médicos (instrumentos quirúrgicos, taladros dentales, etc.)
Especificaciones

Tipo de producto

Manómetro de capacitancia

Diferenciador

Con o sin calefacción
Analógico o digital

Desempeño

temperatura

Ambiente CMX0
CMX1 45°C
CMX2 100°C
CMX3 160°C

Rango de presión

0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr
Referencias mBar y Pascal disponibles

Precisión

CMX0: 0.25% de Lectura
CMX1, CMX2: de 1 a 1000 rangos torrenciales = 0,15% de lectura
CMX1, CMX2: < 1 Rango de Torr = 0.25% de Lectura

Rango de medición

4 Décadas

efecto de temperatura

En Cero
0,002% FS / °C

Sobre la envergadura
0,02% FS / °C

mecánico

Materiales expuestos

Inconel® y/o Acero Inoxidable AISI 316L

Límite de sobrepresión

17 psia o 125% de la escala completa, lo que sea mayor

CEM

Totalmente certificado por la CE según la directiva de compatibilidad electromagnética 89/336/EEC

Certificaciones/Aprobaciones

Fuente de alimentación / Consumo

La potencia CMX0 requerida es de 200 mA @ ±15 Vdc

Entrada de energía en los modelos analógicos de calentamiento inicial, valores típicos1: CMX1 – 270 mA@±15 Vcc (±5%); CMX2 – 620 mA @ ± 15 Vcc (±5%)

Entrada de alimentación en modelos analógicos de estado estacionario, valores típicos1:CMX1 – 175 mA @ ±15 Vdc (±5%); CMX2 – 350 mA @ ±15 Vdc (±5%)

Entrada de energía en los modelos DeviceNet de calentamiento inicial, valores típicos: CMX1 – 400 mA a 24 Vcc; CMX2 – 900 mA a 24 Vcc

Entrada de energía en los modelos DeviceNet de estado estacionario, valores típicos: CMX1 – 300 mA @ 24 Vdc CMX2 – 600 mA @ 24 Vdc

El modelo Sub D macho de 1,15 clavijas requiere 40 mA adicionales para alimentar los relés internos (si están energizados).

Conexión eléctrica

Analógico/RS485 a través de un conector “D” de 9 o 15 clavijas
DeviceNet™ a través del conector “M12” de 5 polos
Varios adaptadores de cable disponibles. Consulte la hoja de datos del producto para obtener más información.

Comunicación Digital

DeviceNet™
RS485

Comunicación analógica

0-10 Vcc 5k Ohm carga

Eléctrico

envergadura

Grande

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