Transductor Pirani/capacitivo/piezoeléctrico de rango ultraamplio con función de conmutación atmosférica.
Establece nuevos estándares con el transductor Pirani de la serie VersaTorr BVT200/225. Se trata de una solución de medición «todo en uno» de amplio rango para una amplia variedad de aplicaciones de vacío. Se diferencia de cualquier otro medidor de vacío al ofrecer una medición rentable e independiente del gas en el rango de 5,0E-3 a 1333 mbar, en combinación con una medición de hasta 1E-6 mbar mediante el principio de pérdida de calor.
En aplicaciones de vacío en las que la composición o el tipo de gas pueden variar, los medidores Pirani tradicionales, que dependen del gas, dan lugar a desviaciones en la medición con respecto a la presión real. El transductor Tri-Sensor utiliza un sensor de diafragma de capacitancia de precisión (CDG) que elimina la dependencia del gas y proporciona mediciones precisas incluso cuando cambian las propiedades del gas.
El sensor MEMS Pirani integrado para la medición de pérdidas térmicas amplía el rango de medición hasta 1E-6 mbar y ofrece un novedoso ajuste automático del cero del manómetro de capacitancia, lo que elimina la necesidad habitual de realizar ajustes manuales del cero en los manómetros de diafragma de capacitancia tradicionales.
| Rango de presión | 8e-7 a 1000 Torr |
|---|---|
| Precisión | 7.5×10-5 a 7.49×10-3 Torr: ±5%, 7.5×10-3 a 7.49 Torr: ±0.5%, 7.50 a 7.49 Torr: ±0.5%, 75 Torr a 1000 Torr: ≤±0.5% |
| Conectividad | Analógico (0–10 V), RS232, RS485 |
| Temperatura del dispositivo | Ambiente – 50°C |
| Principio de medición | Manómetro piezoeléctrico con diafragma capacitivo |
