Medición de vacío de rango ultraamplio
Los medidores de vacío de la serie VersaTorr BVT100 ofrecen el mejor rendimiento de su clase y han establecido nuevos estándares al ampliar el rango de medición útil de los medidores de vacío por conductividad térmica entre 1 y 3 décadas.
Basados en la tecnología puntera de sensores MEMS (sistemas microelectromecánicos), el diseño de los medidores de vacío de la serie VersaTorr BVT100 se combina con una novedosa arquitectura de procesamiento digital de señales de precisión y con algoritmos de medición avanzados e innovadores. Junto con los procesos automatizados de fabricación y calibración de alta precisión, la combinación de estos elementos da como resultado un producto único capaz de ofrecer un rendimiento de medición sin igual.
La conocida dependencia del gas en el rango de vacío aproximado de los medidores de conductividad térmica se ha eliminado mediante la integración de un sensor de diafragma MEMS que ofrece un rendimiento de precisión comparable al de los manómetros de capacitancia, más caros. Esta característica garantiza un control más preciso de los procesos de purga del sistema de vacío y puede evitar la sobrepresurización del mismo.
| Rango de presión | 8e-7 a 1000 Torr |
|---|---|
| Precisión | 7.5×10-5 a 7.49×10-3 Torr: ±5%, 7.5×10-3 a 7.49 Torr: ±0.5%, 7.50 a 7.49 Torr: ±0.5%, 75 Torr a 1000 Torr: ≤±0.5% |
| Conectividad | Analógico (0–10 V), RS232, RS485 |
| Temperatura del dispositivo | Ambiente – 50°C |
| Principio de medición | Piezo |
