Controlador de presión SLA7840

El modelo SLA7840 de Brooks es un instrumento sellado de metal de alta pureza que controla la presión mientras mide el caudal. Una señal del transductor de presión remoto, junto con una electrónica de control PID integrada y ajustable y una válvula de control coplanar, mantiene la presión de ajuste deseada. La válvula coplanar reduce la sensibilidad a las variaciones de presión y ofrece menores tasas de fugas en comparación con otros controladores sellados con metal, lo que garantiza un proceso más estable a lo largo del tiempo.

 

CARACTERÍSTICAS


  • Transductor de presión integral
  • Tiempo de respuesta: <1 segundo
  • Amplio rango de medición de caudal con caudales a escala real de 0 - 3 sccm a 0 - 30.000 sccm
  • Presión máxima 500 psig
  • Paso de flujo de sellado totalmente metálico: 32µ pulgadas Ra acabado superficial máximo
  • La válvula coplanar ofrece menores tasas de fuga
  • La capacidad multigas/multirrango permite almacenar y preprogramar hasta 10 calibraciones y rangos de gas en un solo dispositivo.
  • Opciones de comunicación DeviceNet® y analógica

VENTAJAS


  • El mayor rango de control de la válvula coplanar reduce la sensibilidad a las variaciones de presión en el proceso, asegurando un proceso más estable a lo largo del tiempo.
  • Paso de flujo totalmente húmedo de metal para mantener las condiciones de proceso libres de partículas, humedad y contaminación.
  • El dispositivo también puede configurarse como un controlador de flujo másico para fines de calibración o prueba.
  • La capacidad multigas/multirango reduce el inventario
  • El mayor rango de control proporcionado por la válvula coplanar disminuye el número de piezas necesarias para controlar el proceso.
  • Compacto, ocupa poco espacio y es fácilmente reequipable
  • La comunicación digital ofrece una puesta en marcha sencilla y un cableado de sistema reducido

 

Especificaciones

 

Diferenciador Modo de control: Aguas abajo o aguas arriba
Transductor remoto
Amplio rango de caudal y presión
Tipo de producto

Controlador de presión y medidor de flujo

Rango de flujo (capacidad de escala completa)

Cualquier rango de 0 a 3 sccm a 0 a 30.000 sccm N2 Eq.

Precisión ±1% de la tasa 20-100% F.S.
±0,2% V.S. < 20% V.S.
Repetibilidad ±0,2% de la tasa
Coeficiente de Temperatura de Flujo Cero: Menos de 0,035% FS por °C
Span: Menos del 0,1% de Índice por °C
Rango de presión Dependent upon remote pressure transducer, maximum 500 psig.
Pressure Control Range 20:1
Tiempo de respuesta < 1 segundo típico para un paso de 20-100% del punto de ajuste con un máximo de 2% de sobreoscilación.
La respuesta real de la presión depende del diseño del sistema.
Presión Máxima 500 psig
Rango de temperatura ambiente En funcionamiento: 0°C hasta 60°C
No operativa: -25°C a 100°C
Fluido: 0°C a 65°C
Integridad de las fugas Dentro y Fuera de borda
1 x 10-10 atm scc/sec Helio max
Material del sello metalúrgico
Fuente de alimentación / Consumo Analógico: +15 Vcc, ±5% (se ignora el pin tradicional de -15 Vcc)
DeviceNet™: 11 – 25 Vcc
Conexión eléctrica Analógica a través de un conector «D» de 15 clavijas
DeviceNet™ a través de conector «M12» de 5 polos
Comunicación Digital
DeviceNet™
Comunicación analógica

0 – 5 Vcc

Capacidad de diagnóstico Disponible
Opciones de válvulas

Normalmente cerrado

Materiales mojados 316L Arco refundido al vacío (VAR)
316L
Acero inoxidable ferrítico de alta aleación
Sellos externos/internos: Níquel
Asiento de la válvula: Acero inoxidable 316L – estándar
Nivel de pureza / Acabado de la superficie

32 µ pulgada Ra

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