Serie PC100

Controladores de presión sellados con metal serie PC100

Precisión bajo presión. Precisión bajo control.

Modelos PC115 / PC125

Los controladores y medidores de presión de la serie PC100 combinan una serie de características tecnológicas de alto rendimiento para ofrecer un nuevo nivel de precisión y fiabilidad en el control de la presión para los exigentes procesos de fabricación de semiconductores, deposición de vapor y otros procesos de fabricación de alta precisión.

Construida sobre la probada tecnología de controlador de flujo másico GF100 de Brooks, la serie PC100 presenta una trayectoria de flujo totalmente metálica de alta pureza, una tecnología de sensor mejorada diseñada específicamente para eliminar la deriva del sensor y una interfaz de usuario y una capacidad de diagnóstico de dispositivos que facilita enormemente la evaluación de dispositivos y la resolución de problemas, lo que resulta en una interrupción limitada del servicio y un tiempo de inactividad reducido.

 

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Descripción

Características
  • Tiempo de respuesta: <1 segundo
  • Caudales a gran escala de hasta 10 slm
  • Rango de presión del transductor: 1000 Torr FS
  • Paso de flujo de sellado totalmente metálico: 5µ inch Ra acabado superficial
  • PC125 con medidor de flujo integrado incluye un sensor de flujo Hastelloy® C-22 altamente resistente a la corrosión combinado con un procesador ARM de alta velocidad.
  • Conjunto de válvula de acción rápida sin diafragma
  • Pantalla LCD de alta visibilidad con botón pulsador de fácil acceso para la indicación local del caudal, la temperatura y la dirección de la red
  • Puerto de diagnóstico/servicio independiente protocolo DeviceNet™
Beneficios
  • Los componentes de alto rendimiento permiten una respuesta rápida y un tiempo de fraguado para un mejor control de la presión.
  • Reducción del consumo de gas desviado y de los costes de reducción asociados
  • El paso de flujo húmedo, totalmente metálico y resistente a la corrosión, que cumple con la norma SEMI F20, con un área de superficie reducida y volúmenes no barridos, garantiza un secado más rápido durante los pasos de purga.
  • La estabilidad del dispositivo sensor térmico o de presión a largo plazo maximiza el rendimiento y el rendimiento.
  • Función de arranque programable por el usuario para procesos que requieren un control de presión de rampa lenta
Aplicaciones
  • Herramientas avanzadas de grabado de semiconductores
  • Sistemas de deposición química en vapor de película delgada (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Sistemas de deposición física de vapor (PVD)
Especificaciones

Rango de flujo (capacidad de escala completa)

10 slm (sólo N2 o H2)

Desempeño

Diferenciador

Modo de control: Aguas abajo o aguas arriba
Pureza ultra alta
Control de presión digital

Tipo de producto

Controlador de presión

Precisión

Lectura de presión: ± 1% de la lectura
Control de presión: ± 0,2% de F.S. <10% F.S.; ± 1% de lectura >10% a 100% F.S.
Lectura de flujo: ± 0,35% de F.S. 2-35% F.S.; ± 1% de lectura >35% F.S.

Repetibilidad

< ±0.2% F.S.

Coeficiente de Temperatura de Flujo

Cero: < 0.05% F.S./°C
Span: < 0,08% de la lectura/°C

Presión Máxima

1000 Torr FS

Rango de control de presión

> 2 to 100%

Tiempo de respuesta

Tiempo de respuesta

Rango de temperatura

10 – 50°C

Integridad de las fugas

Externo: 1 x 10-10 atm scc/sec He max

Mecánico

Material del sello

Metalúrgico

Nivel de pureza / Acabado de la superficie

5 µ pulgada Ra

Materiales mojados

Cumple con SEMI F20 HP
316L VIM/VAR
Hastelloy C-22
Acero inoxidable 316L
Acero inoxidable 304

Opciones de válvulas

Normalmente cerrado

Eléctrico

Cumplimiento de la normativa medioambiental

RoHS Directive (2011/65/EU)
REACH Directive EC 1907/2006

EMC

Directiva CE 2014/30/UE
CE: EN61326-1: 2013

Cumplimiento

Fuente de alimentación / Consumo

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc

Conexión eléctrica

DeviceNet™ a través de conector “M12” de 5 polos

Comunicación Digital

DeviceNet™

Comunicación analógica

Diagnostic Capability

Disponible

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