Serie GF80

GF80 Series Controladores de Flujo Másico Térmicos Sellados Metálicos y Medidores

Eleva el estándar de rendimiento en aplicaciones con sellado metálico impulsado por el valor.

Modelos GF80

Para muchos procesos industriales y de semiconductores, tanto el rendimiento como la rentabilidad son cruciales. Los controladores y medidores de flujo másico sellados con metal de la serie GF80 proporcionan ambos: Diseñado con el mismo sensor de respuesta rápida y la misma tecnología patentada de 4ª generación MultiFlo™ que nuestra serie GF100 más vendida, es la elección correcta para operaciones que necesitan un alto rendimiento a un precio asequible. El cambio a un MFC sellado con metal aporta el beneficio total de la capacidad MultiFloTM multigas/multirrango, ya que no hay limitaciones en los gases que se pueden utilizar, una mayor pureza del gas debido a la eliminación de la permeabilidad al oxígeno a través de los elastómeros y una reducción en el mantenimiento, ya que los sellos metálicos durarán indefinidamente.

 

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Descripción

Características
  • Estabilidad cero a largo plazo de <±0,5% del fondo de escala por año
  • Tiempos de sedimentación de <1 segundo
  • Caudales a gran escala de hasta 300 slpm
  • Paso de flujo de sellado totalmente metálico – Acabado superficial Ra de 16µ pulgadas
  • El sensor Hastelloy® resistente a la corrosión puede funcionar a temperaturas más bajas para gases propensos a la descomposición térmica.
  • Capacidad MultiFloTM programable: un dispositivo, miles de tipos de gas y combinaciones de rangos sin retirar el MFC de la línea de gas ni comprometer la precisión.
  • La mejor especificación de coeficiente de temperatura de su clase gracias a la compensación activa de temperatura
  • Rutinas de autoprueba integradas y puerto de diagnóstico/servicio independiente
  • Cuerpo delgado con accesorios VCR
  • Interfaces DeviceNetTM, Profibus®, RS-485 y analógicas
Beneficios
  • El tiempo de asentamiento de flujo rápido de <1 segundo elimina el gas desperdiciado y la variabilidad del proceso.
  • No hay sellos de elastómero que puedan tener permeabilidad al oxígeno, por lo que es necesario reemplazarlos con el paso del tiempo.
  • MultiFloTM simplifica y agiliza el cambio de gases de proceso – no más eliminación y calibración de MFCs
  • Los nuevos gases y/o rangos se pueden ajustar en menos de 60 segundos
  • La precisión de la medición no se ve afectada por las variaciones de temperatura
  • Cómodo acceso al puerto de diagnóstico para un máximo tiempo de actividad
  • El tamaño compacto facilita la integración en espacios reducidos de la máquina; excelente elección para reequipamientos
  • La interfaz de comunicación multiprotocolo simplifica la integración en los sistemas existentes
Aplicaciones clave
  • Reequipamiento/actualización rentable de MFCs antiguos en herramientas de proceso de semiconductores reacondicionadas
  • Reducir el inventario de MFC en fabs de semiconductores de seis u ocho pulgadas
  • MOCVD para la fabricación de LEDs y dispositivos de potencia
  • Sistemas de deposición de vapor químico (CVD) de película delgada/solar
  • Equipos analíticos OEM
Especificaciones

Tipo de producto

Controlador de flujo másico

Diferenciador

Alta pureza

Desempeño

Rango de flujo (capacidad de escala completa)

3 sccm – 300 slm

Precisión

±1% S.P. 35-100%
±0.35% F.S. < 5-35%

Repetibilidad

< ±0.2% S.P.

Linearity

±0,5% F.S. (incluido en la precisión)

Tiempo de respuesta

Válvula normalmente cerrada: <1 seg.

Configurabilidad Multi-Gas y Gama

MultiFlo™ Disponible

Insensibilidad transitoria a la presión

Rango de control

< 5% – 100%

Número de ubicaciones

Serie GF estándar: 11 cubos
Serie GF de alto caudal: 4 cubos

Válvula de cierre

Serie GF estándar: < 1% F.S.

Serie GF de alto caudal: < 4% de la configuración estándar F.S. @ 30psig/atm out N2 equiv.

Estabilidad cero

< ±0.5% F.S. por año

Mecánico

Material del sello

Metal

Materiales mojados

Acero inoxidable 316
Hastelloy C-22
17-7 PH
430SS
KM-45

Opciones de válvulas

Normalmente cerrado
Medidor (sin válvula)

Calificaciones

Temperatura máxima

50oC

Rango de presión diferencial

3-860 sccm = 7-45 psid
861-7200 sccm = 15-45 psid
7201-50000 sccm = 25-45 psid
51-300 slm = 30-90 psid
(caídas de presión típicas

Presión Máxima

Serie GF estándar: 10 bar (150 psig)
Serie GF de alto caudal: Medidor = 5 bar (75 psig), Controlador = 10 bar (150 psig)

Integridad de las fugas

1×10-10 atm cc/sec He

Diagnóstico y visualización

Capacidad de diagnóstico

Disponible

Luces de estado

MFC Health, Estado de la red

Alarmas

Salida de la válvula de control, interrupción de la red

Diagnóstico / Puerto de servicio

RS485 a través de un conector de 2,5 mm (todos los modelos)

Eléctrico

Comunicación analógica

0-20 mA
4-20 mA
0-5 Vdc
0-10 Vdc

Comunicación Digital

DeviceNet™
Profibus®
RS485 S-Protocol
RS485 L-Protocol
RS485 A-Protocol (GF081)

Conexión eléctrica

Profibus/Analógico mediante conector “D” de 9 polos
RS485/Analógico mediante conector “D” de 9 pines, conector “D” de 15 pines
DeviceNet™ a través del conector “M12” de 5 polos

Fuente de alimentación / Consumo

Serie GF estándar:   RS485 de +12 Vcc a +24 Vcc = 7 vatios máx.

Profibus de +13,5 Vcc a +27 Vcc = 7 vatios máx.

DeviceNet™ de +11 Vcc a +25 Vcc = 13,6 vatios máx.

Serie GF de alto caudal: RS485 de +12 Vcc a +24 Vcc = 3,3 vatios máx.

Profibus de +13,5 Vcc a +27 Vcc = 3,3 vatios máx.

DeviceNet™ de +11 Vcc a +25 Vcc = 3,3 vatios máx.

Cumplimiento de la normativa medioambiental

Seguridad EN61010-1
RoHS

EMC

CE: EN6126: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Cumplimiento

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