Serie GF40

Controladores y medidores de flujo másico térmico sellado con elastómero serie GF40

Un dispositivo. Múltiples gases y caudales. Máxima flexibilidad.

Modelos GF40

Múltiples gases en un solo dispositivo equivalen a la máxima flexibilidad y productividad del proceso. Los controladores y medidores de flujo másico sellados con elastómero de la serie GF40 con la exclusiva tecnología MultiFlo™ de Brooks Instrument son la elección perfecta para sistemas, procesos e instalaciones que utilizan una variedad de gases, cambian con frecuencia de tipo de gas o necesitan cambiar de rango al mismo tiempo que preservan la precisión de la medición y el control de gases. Permite un nuevo nivel de flexibilidad de proceso combinado con un rendimiento de medición y control de flujo sin precedentes.

 

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Descripción

Characteristics
  • Capacidades programables de multi-gas/multi-rango
  • La base de datos de gas de Brooks® MultiFlo™ contiene miles de ejecuciones de gas nativo para establecer funciones de corrección.
  • Tiempo de respuesta de flujo de menos de 1 segundo y precisión del 1% del punto de ajuste para aplicaciones exigentes
  • Adecuado para una gran variedad de gases
  • Respuesta rápida, sensor Hastelloy
  • El puerto de servicio de diagnóstico de fácil acceso es independiente de la comunicación con la herramienta
  • Las opciones de comunicación multiprotocolo incluyen DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus® e interfaz analógica RS-485
Beneficios
  • La tecnología MultiFlo™ permite nuevas calibraciones de gas y rangos de escala completa sin remover el MFC de la línea de gas, maximizando el tiempo de funcionamiento del proceso.
  • La programación de MultiFlo™ es sencilla y fácil de usar; el nuevo gas se puede seleccionar en menos de 60 segundos.
  • Los fabricantes de equipos originales y los grandes usuarios finales pueden reducir en gran medida el número de controladores de gas y gama específica que almacenan.
  • Excelente precisión del gas de proceso respaldada por sistemas de metrología y calibración superiores basados en estándares globales.
  • El sensor resistente a la corrosión proporciona una estabilidad inigualable a largo plazo que garantiza el máximo rendimiento y rendimiento.
  • El puerto de servicio al que puede acceder el usuario simplifica la resolución de problemas y las tareas de diagnóstico.
  • La variedad de sellos de elastómero proporciona flexibilidad en cuanto a la relación costo-beneficio en toda la gama de aplicaciones.
  • Interfaz de comunicación multiprotocolo que soporta la integración en sistemas existentes
Aplicaciones
  • Sistemas de deposición química de vapor por células solares
  • Biorreactores para ciencias de la vida
  • Procesos de vacío
  • Nanotecnología/Fabricación de MEMS
  • Sistemas de recubrimiento por plasma, vidrio y bobina
Especificaciones

Estabilidad cero

<±0.5% FS por año

Válvula de cierre

Cierra la válvula cuando el punto de ajuste cae por debajo del 1,5% del fondo de escala.

Número de ubicaciones

10 Cubos

Rango de control

2-100%

Configurabilidad Multi-Gas y Gama

MultiFlo™ Disponible

Tiempo de respuesta

Válvula normalmente cerrada: 300 ms – <1 seg.

Linealidad

±0.5% FS (incluido en la precisión)

Repetibilidad

0.20% SP

Precisión

1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%

Rango de flujo (capacidad de escala completa)

3 sccm – 50 slpm

Desempeño

Diferenciador

Alta Precisión
MultiFlo™ Capacidad
Tamaño compacto
Adecuado para un conjunto completo de gases

Tipo de producto

Coeficiente de presión

0.03% por psi (0-50psi N2)

Calificaciones

Rango de temperatura

5-50oC (41-122oF)

Presión Máxima

150 psig/10 barra

Rango de presión diferencial

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid
7201-55000 sccm = 25-45 psid
*Para obtener más información, póngase en contacto con el servicio de asistencia técnica de Brooks..

Integridad de las fugas

1×10-10 atm cc/sec He

Mecánico

Material del sello

Sello de elastómero

Acabado de la superficie

32µ inch Ra

Materiales mojados

Acero inoxidable 316, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055

Opciones de válvulas

Normalmente cerrado
Normalmente abierto
Medidor (sin válvula)

Diagnóstico

Capacidad de diagnóstico

Disponible

Diagnóstico / Puerto de servicio

Disponible

Tamaño

Disponible

Cumplimiento de la normativa medioambiental

Directiva RoHS (2011/65/EU)
REACH Directiva CE 1907/2006

Certificaciones/Aprobaciones

CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
Seguridad EN61010-1

Cumplimiento

Fuente de alimentación / Consumo

Analógico / RS-485
De +12 Vcc a +24 Vcc: 7 Watt/8 Watt

DeviceNet™
De +11 Vcc a +25 Vcc: 7 Watt/8 Watt

EtherCAT® / Profibus
De +13,5 Vcc a +27 Vcc: 7 vatios/8 vatios

Conexión eléctrica

DeviceNet™: 1 x M12 con tuerca roscada (B)
EtherCAT®: M8 de 5 polos con tuerca roscada/2 x RJ45
Profibus®: 1 x 15 contactos Macho Sub-D/1 x 9 contactos hembra Sub-D
RS485: 1 x 15 contactos Sub-D macho, (A)

Comunicación Digital

DeviceNetTM
EtherCAT
Profibus®.
RS485

Comunicación analógica

0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA

Eléctrico

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