Medidor de flujo másico Serie GF40

Múltiples gases en un solo dispositivo equivalen a la máxima flexibilidad y productividad del proceso. Los controladores y medidores de flujo másico sellados con elastómero de la serie GF40 con la exclusiva tecnología MultiFlo™ de Brooks Instrument son la elección perfecta para sistemas, procesos e instalaciones que utilizan una variedad de gases, cambian con frecuencia de tipo de gas o necesitan cambiar de rango al mismo tiempo que preservan la precisión de la medición y el control de gases. Permite un nuevo nivel de flexibilidad de proceso combinado con un rendimiento de medición y control de flujo sin precedentes.

 

CARACTERÍSTICAS


  • Capacidades programables de multi-gas/multi-rango
  • La base de datos de gas de Brooks® MultiFlo™ contiene miles de ejecuciones de gas nativo para establecer funciones de corrección.
  • Tiempo de respuesta de flujo de menos de 1 segundo y precisión del 1% del punto de ajuste para aplicaciones exigentes
  • Adecuado para una gran variedad de gases
  • Respuesta rápida, sensor Hastelloy
  • El puerto de servicio de diagnóstico de fácil acceso es independiente de la comunicación con la herramienta
  • Las opciones de comunicación multiprotocolo incluyen DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus® e interfaz analógica RS-485

VENTAJAS


  • La tecnología MultiFlo™ permite nuevas calibraciones de gas y rangos de escala completa sin remover el MFC de la línea de gas, maximizando el tiempo de funcionamiento del proceso.
  • La programación de MultiFlo™ es sencilla y fácil de usar; el nuevo gas se puede seleccionar en menos de 60 segundos.
  • Los fabricantes de equipos originales y los grandes usuarios finales pueden reducir en gran medida el número de controladores de gas y gama específica que almacenan.
  • Excelente precisión del gas de proceso respaldada por sistemas de metrología y calibración superiores basados en estándares globales.
  • El sensor resistente a la corrosión proporciona una estabilidad inigualable a largo plazo que garantiza el máximo rendimiento y rendimiento.
  • El puerto de servicio al que puede acceder el usuario simplifica la resolución de problemas y las tareas de diagnóstico.
  • La variedad de sellos de elastómero proporciona flexibilidad en cuanto a la relación costo-beneficio en toda la gama de aplicaciones.
  • Interfaz de comunicación multiprotocolo que soporta la integración en sistemas existentes

APLICACIONES


  • Sistemas de deposición química de vapor por células solares
  • Biorreactores para ciencias de la vida
  • Procesos de vacío
  • Nanotecnología/Fabricación de MEMS
  • Sistemas de recubrimiento por plasma, vidrio y bobina

Especificaciones

 

Estabilidad cero <±0.5% FS por año
Válvula de cierre Cierra la válvula cuando el punto de ajuste cae por debajo del 1,5% del fondo de escala.
Número de ubicaciones 10 Cubos
Rango de control 2-100%
Configurabilidad Multi-Gas y Gama MultiFlo™ Disponible
Tiempo de respuesta Válvula normalmente cerrada: 300 ms – <1 seg.
Linealidad ±0.5% FS (incluido en la precisión)
Repetibilidad 0.20% SP
Precisión 1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%
Rango de flujo (capacidad de escala completa) 3 sccm – 50 slpm
Diferenciador Alta Precisión
MultiFlo™ Capacidad
Tamaño compacto
Adecuado para un conjunto completo de gases
Coeficiente de presión 0.03% por psi (0-50psi N2)
Rango de temperatura 5-50oC (41-122oF)
Presión Máxima 150 psig/10 barra
Rango de presión diferencial 3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid
7201-55000 sccm = 25-45 psid
*Para obtener más información, póngase en contacto con el servicio de asistencia técnica de Brooks..

Integridad de las fugas 1×10-10 atm cc/sec He
Material del sello Sello de elastómero
Acabado de la superficie 32µ inch Ra
Materiales mojados Acero inoxidable 316, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055
Opciones de válvulas Normalmente cerrado
Normalmente abierto
Medidor (sin válvula)
Capacidad de diagnóstico Disponible
Diagnóstico / Puerto de servicio Disponible
Tamaño Disponible
Cumplimiento de la normativa medioambiental Directiva RoHS (2011/65/EU)
REACH Directiva CE 1907/2006
Certificaciones/Aprobaciones CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
Seguridad EN61010-1
Fuente de alimentación / Consumo Analógico / RS-485
De +12 Vcc a +24 Vcc: 7 Watt/8 WattDeviceNet™
De +11 Vcc a +25 Vcc: 7 Watt/8 WattEtherCAT® / Profibus
De +13,5 Vcc a +27 Vcc: 7 vatios/8 vatios
Conexión eléctrica DeviceNet™: 1 x M12 con tuerca roscada (B)
EtherCAT®: M8 de 5 polos con tuerca roscada/2 x RJ45
Profibus®: 1 x 15 contactos Macho Sub-D/1 x 9 contactos hembra Sub-D
RS485: 1 x 15 contactos Sub-D macho, (A)
Comunicación Digital DeviceNetTM
EtherCAT
Profibus®.
RS485
Comunicación analógica 0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA

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