GF125 Series

GF125 Series Metal Sealed Thermal Mass Flow Controllers & Meters

The MFC that has it all.

Models GF125 / GF126

Ultra-fast response times and the highest level of purity – the GF125 Series are second generation multi-variable, pressure transient insensitive (PTI), metal sealed mass flow controllers and meters. First to bring PTI mass flow control technology to market, GF125 minimizes process gas flow variation due to pressure and temperature fluctuations. Standard MultiFlo™ technology enables one MFC to support thousands of gas types and range combinations without removing it from the gas line or compromising on accuracy.

The result: reduced size and cost of gas panels, by eliminating the need for point of use pressure regulators, pressure transducers, and associated hardware, combined with the industry’s best PTI performance to maximize yields and productivity.

 

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Descripción

Features
  • Long-term zero stability of <±0.5% full scale per year
  • Ultra-fast settling times: 300 ms – <700 ms
  • Full-scale flow rates up to 300 slpm
  • Ultra-high purity flow path – 4µ inch Ra surface finish
  • SEMI F20 compliant wetted materials
  • Corrosion-resistant Hastelloy® T-Rise sensor with high speed ARM processor
  • Fast acting, diaphragm-free valve assembly is unaffected by differential pressure and tested for over seven million cycles without any failures
  • MultiFloTM technology offers unparalleled flexibility—one device can be programmed for thousands of different gas and flow range configurations without removing the MFC from the gas line or compromising accuracy
  • Local display indicates flow, temperature, pressure and network address for easy troubleshooting of gas supply and isolation valve issues
  • DeviceNetTM, RS-485 L-Protocol and analog interfaces
Benefits
  • By combining Brooks’ patented flow sensor technology with a fast acting diaphragm free valve assembly, the GF125 Series delivers up to 3 times faster response and settling time compared to other mass flow controllers
  • Optimized wetted flow path for improved dry-down
  • With MultiFloTM, MFC full scale flow range can be re-scaled down typically by a factor of 3:1 with no impact on accuracy, turndown or leak by specifications, for optimum process and inventory flexibility
  • A full gas database delivers the widest process gas coverage
  • Pressure Transient Insensitivity (PTI) capability overcomes limitations of conventional MFCs that react strongly to small inlet pressure fluctuations. The result is stable performance and predictable accuracy.
  • Convenient user display and independent diagnostic/service port aids device installation, monitoring and troubleshooting
Key Applications
  • Semiconductor
  • MOCVD
  • Gas flow control applications that require a high purity all-metal flow path
Specifications

Tipo de producto

Controlador de flujo másico

Diferenciador

Pureza ultra alta
Tiempo de respuesta ultrarrápido
Insensibilidad transitoria a la presión

Desempeño

Rango de flujo (capacidad de escala completa)

3 sccm – 300 slm

Precisión

±1% N.A. > 35-100% N.A.
±0.35% F. S. 2-35%

Repetibilidad

±0.15% S.P.

Linealidad

±0,5% F.S. (incluido en la precisión)

Tiempo de respuesta

300ms – < 1 seg.

Tiempo de respuesta

Válvula normalmente abierta: <1,5 seg.
(sólo modelos específicos)

Configurabilidad Multi-Gas y Gama

MultiFlo™ Estándar (la mayoría de los modelos)

Insensibilidad transitoria a la presión

<P.S. de hasta 5 psi/seg. de presión de entrada

Rango de control

< 5 – 100%

Número de ubicaciones

Serie GF estándar: 11 cubos
Serie GF de alto caudal: 4 cubos

Válvula de cierre

< 2% F.S.

Estabilidad cero

< 0.5% F.S. por año

Coeficiente de Temperatura de Flujo

Span: 0.05% S.P. per °C
Zero: 0.005% F.S. per °C

mecánico

Material del sello

metalúrgico

Nivel de pureza / Acabado de la superficie

4 – 5µ pulgadas Ra

Materiales mojados

Cumple con SEMI F20 HP
316L VIM/VAR
Hastelloy C-22
Acero inoxidable 316L
Acero inoxidable 304
KM-45

Opciones de válvulas

Normalmente cerrado
Normalmente abierto (modelos específicos)
Medidor (sin válvula)

Calificaciones

Temperatura máxima

50oC

Rango de presión diferencial

3-860 sccm = 7-45 psid
861 – 7200 sccm = 10 – 45 psid
7201 – 55000 sccm = 15 – 45 psid
51 – 300 slm = 30 – 90 psid
*Pérdidas de carga típicas. Para obtener más información, póngase en contacto con el servicio de asistencia técnica de Brooks.

Presión Máxima

Serie GF estándar: 100 psia máx.
Serie GF de alto caudal: 75 psig (controlador), 150 psig (medidor)

Integridad de las fugas

1×10-10 atm cc/sec He

Diagnóstico y visualización

Capacidad de diagnóstico

Disponible

Luces de estado

MFC Salud
Estado de la red

Alarmas

Salida de la válvula de control
Interrupción de la red

Diagnóstico / Puerto de servicio

RS485 a través de un conector de 2,5 mm (todos los modelos)

Pantalla

LCD integrado de montaje superior
Ángulo de visión: Fijo
Distancia de visión: 10 pies
Unidades mostradas: Caudal (%), Temperatura (°C), Presión (psia, kPa)
Resolución: 0,1 (unidad)

Eléctrico

Comunicación analógica

0-5 Vcc

Comunicación Digital

DeviceNet™
Protocolo L RS485

Conexión eléctrica

Analógico/RS485 a través de conector “D” de 9 clavijas
DeviceNet™ a través del conector “M12” de 5 polos
Varios adaptadores de cable disponibles. Consulte la hoja de datos del producto para obtener más información.

Fuente de alimentación / Consumo

Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)
DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc
(Under typical operating conditions)

Cumplimiento

Cumplimiento de la normativa medioambiental

Directiva RoHS (2011/65/EU)
REACH Directiva CE 1907/2006

CEM

EC Directive 2004/108/EC
CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

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