Serie GF100 EtherCAT

Fastest and most accurate CFM

Improved by the speed of EtherCAT®

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Models GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

Ultrafast response times and the highest level of purity – the GF125 series are second generation multivariable mass flow controllers and meters insensitive to metal-sealed pressure transients (PTIs). The GF125 is the first to introduce PTI mass flow control technology to the market and minimizes process gas flow variation due to pressure and temperature fluctuations. The standard MultiFlo™ technology allows an MFC to support thousands of gas types and range combinations without removing it from the gas line or compromising accuracy.

The result: reduced size and cost of gas panels, eliminating the need for point-of-use pressure regulators, pressure transducers and associated hardware, combined with the PTI industry’s best performance to maximize performance and productivity.

 

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Descripción

Rendimiento perfeccionado para procesos de semiconductores
  • Los diagnósticos integrados aprovechan las capacidades de adquisición de datos en tiempo real de EtherCAT
  • Sensor de flujo ultraestable (≤ 0.15% de deriva de P.S.P. por año) permite una precisión de punto de ajuste más ajustada y baja y reduce los requisitos de mantenimiento.
  • El cierre mejorado de la válvula (≤ 0.15% del rango del silo) reduce las fugas de la válvula para reducir los primeros efectos de la oblea.
  • La insensibilidad transitoria a la presión recientemente mejorada reduce la sensibilidad a la diafonía para una entrega de flujo másico consistente.
Características
  • Estabilidad cero a largo plazo de <±0,15% del fondo de escala por año
  • Tiempos de asentamiento: 300 ms – <1 segundo
  • Caudales a gran escala de hasta 300 slpm
  • Paso de flujo de sellado totalmente metálico: opción para un acabado superficial Ra de 5µ o 10µ pulgadas
  • El sensor Hastelloy® T-Rise resistente a la corrosión mejora la reproducibilidad de la medición a temperaturas elevadas
  • Programación de gas y rango MultiFloTM: un dispositivo, miles de tipos de gas y combinaciones de rango sin retirar el MFC de la línea de gas ni comprometer la precisión.
  • La cómoda pantalla de usuario y el puerto de diagnóstico/servicio independiente facilitan la instalación, el control y la resolución de problemas del dispositivo.
  • GF120 Safe Delivery System (SDS®) es el controlador de flujo másico de baja pérdida de carga de última generación de Brooks para el suministro de gases del sistema de suministro seguro a nivel subatmosférico (SDS) utilizados en los procesos de implante y grabado.
Beneficios

Rendimiento excepcional

  • Los tiempos de reacción rápidos mejoran la eficiencia de la aplicación
  • Topología flexible
    • Posibilidad de una topología de red prácticamente ilimitada
  • Simple y robusto
    • Configuración, diagnóstico y mantenimiento
  • Asequibilidad
    • Puerto Ethernet estándar
Aplicaciones clave
  • Herramientas de grabado de semiconductores
  • Sistemas de deposición química en vapor de película delgada (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Sistemas de deposición física de vapor (PVD)
  • Sistemas de procesos epitaxiales
Especificaciones

Tipo de producto

Controlador de flujo másico

Diferenciador

Comunicación EtherCAT
Alta pureza/Ultra-Alta pureza
Diagnóstico integrado
Sensor de flujo ultraestable
Apagado mejorado de la válvula

Nivel de pureza / Acabado de la superficie

5 – 10µ pulgadas Ra

Material del sello

metalúrgico

mecánico

Coeficiente de Temperatura de Flujo

Span: 0,05% P.S. por °C
Cero: 0.005% F.S. por °C

Estabilidad cero

< 0.15% F.S. por año

Válvula de cierre

Serie GF estándar: < 0.15% F.S.
Serie GF de alto caudal: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

Número de ubicaciones

Serie GF estándar: 11 cubos
Serie GF de alto caudal: 4 cubos

Rango de control

Serie GF estándar: 2-100%.
Serie GF de alto caudal: 5-100%

Configurabilidad Multi-Gas y Gama

MultiFlo™ Estándar (la mayoría de los modelos)

Insensibilidad transitoria a la presióna

Modelos específicos

Tiempo de respuesta

Válvula normalmente abierta: <1,5 segundos (modelos específicos)

Tiempo de respuesta

Válvula normalmente cerrada: 300 ms – < 1 seg.
Entrega de gas SDS: 3 seg. < 3 seg.

Repetibilidad

±0.15% S.P.

Precisión

Serie GF estándar: ±1% P.S. > 20-100%; ±0,2% P.S. 2-20%.
Serie GF de alto caudal: ±1% P.S. > 35-100%; ±0,35% P.S. 2-35%.

Rango de flujo (capacidad de escala completa)

Serie GF estándar: 3 sccm – 55 slm
Serie GF de alto caudal: 55 slm – 300 slm

Desempeño

Materiales mojados

Cumple con SEMI F20 HP/UHP
316L VIM/VAR
Hastelloy C-22
Acero inoxidable 316L
Acero inoxidable 304
KM-45

Opciones de válvulas

Normalmente cerrado
Normalmente abierto (sólo en determinados modelos)
Medidor (sin válvula)

Calificaciones

Temperatura máxima

50oC

Rango de presión diferencial

3-860 sccm = 7-45 psid
861-7200 sccm = 10-45 psid
7201-55000 sccm = 15-45 psid
51 slm-300 slm = 30-90 psid
Modelos SDS 10 Torr- 30 psid típico
*Pérdidas de carga típicas. Póngase en contacto con el servicio de asistencia técnica de Brooks para obtener más información.

Presión Máxima

Serie GF estándar: hasta 500 psia máx.
Serie GF de alto caudal: 75 psig (controlador), 150 psig (medidor)

Integridad de las fugas

1×10-10 atm cc/sec He

Diagnóstico y visualización

Capacidad de diagnóstico

Disponible

Luces de estado

Corre
Error
Potencia
Estado de la red

Alarmas

Salida de la válvula de control
Interrupción de la red
Temperatura Alta/Baja
Presión Alta/Baja
Sobretensión/Caída de tensión

Fuente de alimentación / Consumo

24 Vdc, 7 Watts
(Under typical operating conditions)

Electrical Connection

Alimentación a través del conector M8 de 5 polos, EtherCAT a través de un doble RJ45

Comunicación Digital

EtherCAT

Comunicación analógica

Eléctrico

Pantalla

LCD integrado de montaje superior
Ángulo de visión: Fijo
Distancia de visión: 10 pies
Unidades mostradas: Caudal (%), Temperatura (°C), Presión (psia, kPa)
Resolución: 0,1 (unidad)

Diagnóstico / Puerto de servicio

Micro USB

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