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GF040: Controladores y medidores de caudal másico con sellado de elastómero

Un solo dispositivo. Múltiples gases y caudales. Máxima flexibilidad.

La posibilidad de utilizar varios gases en un solo dispositivo garantiza la máxima flexibilidad y productividad en los procesos. Los controladores y medidores de caudal másico de la serie GF40, con sellado de elastómero y la tecnología exclusiva MultiFlo™ de Brooks Instrument, constituyen la opción perfecta para sistemas, procesos e instalaciones que utilizan una gran variedad de gases, cambian con frecuencia de tipo de gas o necesitan reajustar el rango de medición sin perder precisión en la medición y el control del gas. Esto permite alcanzar un nuevo nivel de flexibilidad en el proceso, combinado con un rendimiento sin precedentes en la medición y el control del caudal.

Características

  • Funcionalidades programables para múltiples gases y rangos
  • La base de datos de gases Brooks® MultiFlo™ contiene miles de curvas de gases nativas para establecer funciones de corrección
  • Tiempo de respuesta del caudal inferior a un segundo y precisión del 1 % del punto de consigna para aplicaciones exigentes
  • Idoneidad para una amplia variedad de gases
  • Respuesta rápida, sensor de Hastelloy
  • El puerto de servicio de diagnóstico, de fácil acceso, es independiente de la comunicación con la herramienta
  • Las opciones de comunicación multiprotocolo incluyen DeviceNet™, certificado por la ODVA, EtherCAT®, Profibus® y la interfaz analógica RS-485

Ventajas

  • La tecnología MultiFlo™ permite realizar nuevas calibraciones de gas y ampliar los rangos a escala completa sin necesidad de retirar el MFC de la línea de gas, lo que maximiza el tiempo de actividad del proceso.
  • La programación de MultiFlo™ es sencilla e intuitiva; se puede seleccionar un nuevo gas en menos de 60 segundos.
  • Los fabricantes de equipos originales (OEM) y los grandes usuarios finales pueden reducir considerablemente el número de controladores específicos para cada gas y rango que mantienen en stock.
  • Excelente precisión en los gases de proceso, respaldada por sistemas de metrología superiores y una calibración basada en normas internacionales.
  • El sensor resistente a la corrosión ofrece una estabilidad a largo plazo inigualable, lo que garantiza el máximo rendimiento y productividad
  • El puerto de mantenimiento accesible para el usuario simplifica las tareas de resolución de problemas y diagnóstico
  • La variedad de juntas de elastómero ofrece flexibilidad en la relación calidad-precio para una amplia gama de aplicaciones
  • La interfaz de comunicación multiprotocolo permite la integración en sistemas existentes

Aplicaciones

  • Sistemas de deposición química en fase de vapor para células solares
  • Biorreactores para ciencias de la vida
  • Procesos al vacío
  • Fabricación de nanotecnología y MEMS
  • Sistemas de recubrimiento por plasma, vidrio y banda transportadora
  • Excelente opción para sistemas de distribución de gases y colectores
Tipo de medio Gas
Principio de medición de caudal Térmico (TMF)
Rango de caudal 3 sccm – 50 slpm
Rango de precisión 1% del punto de ajuste (S.P.) 35-100%, 0.35% de la escala completa (F.S.) 2-35%
Relación de reducción (Turndown) 2-100%
Repetibilidad 0.20% del punto de ajuste (S.P.)
Presión máxima 150 psi
Temperatura de funcionamiento 5°C – 50°C
Medición/Control Medición y control (Controlador), Solo medición (Medidor)
Caudal máximo 50 slpm
Caudal máximo 50000 sccm
Temperatura máxima 50 °C
Opción de sellado Elastómero
Precisión (% del caudal) ±1.0%
Conectividad Analógica (0–5 V), Analógica (0–10 V), Analógica (0–20 mA), DeviceNet, EtherCAT, Profibus, RS485, Analógica (4–20 mA)

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