Circuito de flujo de alta pureza. Rendimiento, fiabilidad y repetibilidad excepcionales.
Un suministro de gases de proceso de respuesta rápida y constante, con niveles de pureza altos y ultraaltos: ese es el rendimiento que ofrece la serie GF100 de controladores y medidores de caudal másico con sellado metálico. Diseñada para aplicaciones de control de flujo de gases en la industria de los semiconductores, MOCVD y otras, la serie GF100 supera el estándar de fiabilidad de la industria de los semiconductores, lo que garantiza un rendimiento repetible y altamente estable a lo largo del tiempo. La tecnología MultiFlo™ estándar permite que un solo MFC sea compatible con miles de combinaciones de tipos de gas y rangos de flujo sin necesidad de retirarlo de la línea de gas ni comprometer la precisión.
El resultado: una mayor flexibilidad y eficiencia de los procesos, combinadas con los niveles más altos del sector en cuanto a pureza de los gases de proceso, lo que contribuye a maximizar los rendimientos y la productividad.
| Tipo de medio | Gas |
|---|---|
| Principio de medición de caudal | Térmico (TMF) |
| Rango de caudal | Serie GF estándar: 3 sccm – 55 slpm, Serie GF de alto caudal: 55 slpm – 300 slpm |
| Rango de precisión | Serie GF estándar: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%, Serie GF de alto caudal: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35% |
| Relación de reducción (Turndown) | Serie GF estándar: 2-100%, Serie GF de alto caudal: 5-100% |
| Repetibilidad | 5 – 100% = ±0.15% S.P., 0.2 – 5% = ±0.015% F.S. |
| Presión máxima | 500 psi |
| Temperatura de funcionamiento | 10°C – 50°C |
| Medición/Control | Medición y control (Controlador), Solo medición (Medidor) |
| Caudal máximo | 300 slpm |
| Caudal máximo | 55000 sccm |
| Temperatura máxima | 50 °C |
| Opción de sellado | Metal |
| Precisión (% del caudal) | ±1.0% |
| Conectividad | RS485, DeviceNet |
