Circuito de flujo de alta pureza. Rendimiento y fiabilidad excepcionales para aplicaciones a alta temperatura.
Los controladores de caudal másico (MFC) y medidores de alta temperatura GF120xHT están diseñados para controlar y medir el caudal másico de vapor procedente de fuentes líquidas o sólidas, con el fin de dar respuesta al creciente uso de estos precursores en los procesos de fabricación de semiconductores. El módulo de caudal del GF120xHT puede soportar entornos de funcionamiento de hasta 150 °C. Para soportar este rango de temperaturas, los componentes electrónicos están conectados de forma remota al resto del dispositivo y montados en una ubicación con una temperatura más baja (máx. 50 °C).
La electrónica remota puede montarse en riel DIN con tres longitudes diferentes de cable de interconexión a elegir: 3 pies, 8 pies y 16,5 pies de serie. La amplia gama de protocolos de comunicación y opciones de montaje convierten al GF120xHT en la opción ideal para equipos de proceso de última generación y para la actualización de MFC calefactados antiguos.
| Tipo de medio | Gas |
|---|---|
| Principio de medición de caudal | Térmico (TMF) |
| Rango de caudal | 50 sccm – 5 slpm |
| Rango de precisión | ±1% del punto de ajuste (S.P.) >35-100%, ±0.35% de la escala completa (F.S.) 2-35% |
| Repetibilidad | 5-100% = ±0.15% del punto de ajuste (S.P.), 2-5% = ±0.015% de la escala completa (F.S.) |
| Presión máxima | 500 psi |
| Temperatura de funcionamiento | 45°C – 150°C |
| Opción de sellado | Metal |
| Medición/Control | Medición y control (Controlador) |
| Caudal máximo | 5 slpm |
| Caudal máximo | 5000 sccm |
| Temperatura máxima | 150 °C |
| Precisión (% del caudal) | ±1.0% |
| Conectividad | Analógica (0–5 V), DeviceNet, EtherCAT, RS485 |
