Medidor de capacitancia Serie CMC

Modelos CMC

Los manómetros de capacitancia de la serie CMC de Brooks Instrument ofrecen mediciones de vacío fiables y precisas en una amplia gama de temperaturas de funcionamiento, lo que constituye una alternativa económica a los manómetros de alta calidad sin calentar más grandes. Su diseño compacto y su rendimiento comprobado lo convierten en una actualización ideal para herramientas existentes que necesitan un pequeño medidor de factor de forma.

El funcionamiento fiable y repetible está garantizado incluso en los procesos más agresivos gracias al diseño totalmente soldado y a las superficies húmedas de Iconel®. La combinación de componentes de precisión y un amplio rango de operación con compensación de temperatura permite a Brooks proporcionar los mejores coeficientes de temperatura de cero y span de su clase para una estabilidad óptima de la medición.

Manómetros de capacitancia Serie CMC

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CARACTERÍSTICAS

Disponible para rangos de proceso de 10 Torr a 1000 Torr
Dos niveles de precisión disponibles: 0,25% o 0,50% de la lectura (opcional)
Rendimiento excepcional en una amplia gama de temperaturas de funcionamiento
40% más pequeño que los manómetros de capacitancia no calentados tradicionales
Construcción totalmente soldada y superficies mojadas Inconel

VENTAJAS

La calibración opcional de alta precisión iguala la precisión de los manómetros no calentados premium más costosos.
Los mejores coeficientes de temperatura de cero y span de su clase
El diseño que ahorra espacio ayuda a encajar el dispositivo en espacios reducidos de la máquina.
Óptima repetibilidad de la medición en comparación con otros diseños que son propensos a cometer errores induciendo tensiones internas.

APLICACIONES

Fabricación de semiconductores
Procesos de deposición en capa delgada - recubrimientos de vidrio, tela y ópticos
Materiales perecederos liofilizados
Recubrimientos de alta tecnología para instrumentos médicos (instrumentos quirúrgicos, taladros dentales, etc.)

Descripción

Especificaciones

Tipo de producto	Manómetro de capacitancia
Diferenciador	Sin calefacción
Temperatura	Ambiente
Rango de presión	10, 20, 50, 100, 500 y 1000 Torr Full Scale
Precisión	Tipo A = 0.25% de la lectura Tipo B = 0,50% de la lectura
Rango de medición	4 Décadas
Efecto de la temperatura	En Cero 0,002% FS / °CSobre la envergadura 0,027% FS / °C
Materiales expuestos	Inconel
Límite de sobrepresión	45 psia
Tamaño	Compacto
Comunicación analógica	0-10 Vcc (carga <10k Ohm)
Comunicación Digital	—
Cumplimiento de la normativa medioambiental	Directiva RoHS (2011/65/EU) REACH Directiva CE 1907/2006
EMC	CE Directiva 89/336/CEE
Fuente de alimentación / Consumo	< 200 mW
Conexión eléctrica	DSub de 15 clavijas en cable de 6 DSub de 9 clavijas Regleta de bornes de 5 polos