Serie CMC

Manómetros de Capacitancia Serie CMC

Manómetros compactos, probados y sin calefacción para la medición de vacío rentable.

Modelos CMC

Los manómetros de capacitancia de la serie CMC de Brooks Instrument ofrecen mediciones de vacío fiables y precisas en una amplia gama de temperaturas de funcionamiento, lo que constituye una alternativa económica a los manómetros de alta calidad sin calentar más grandes. Su diseño compacto y su rendimiento comprobado lo convierten en una actualización ideal para herramientas existentes que necesitan un pequeño medidor de factor de forma.

El funcionamiento fiable y repetible está garantizado incluso en los procesos más agresivos gracias al diseño totalmente soldado y a las superficies húmedas de Iconel®. La combinación de componentes de precisión y un amplio rango de operación con compensación de temperatura permite a Brooks proporcionar los mejores coeficientes de temperatura de cero y span de su clase para una estabilidad óptima de la medición.

 

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Descripción

Características
  • Disponible para rangos de proceso de 10 Torr a 1000 Torr
  • Dos niveles de precisión disponibles: 0,25% o 0,50% de la lectura (opcional)
  • Rendimiento excepcional en una amplia gama de temperaturas de funcionamiento
  • 40% más pequeño que los manómetros de capacitancia no calentados tradicionales
  • Construcción totalmente soldada y superficies mojadas Inconel
Beneficios
  • La calibración opcional de alta precisión iguala la precisión de los manómetros no calentados premium más costosos.
  • Los mejores coeficientes de temperatura de cero y span de su clase
  • El diseño que ahorra espacio ayuda a encajar el dispositivo en espacios reducidos de la máquina.
  • Óptima repetibilidad de la medición en comparación con otros diseños que son propensos a cometer errores induciendo tensiones internas.
Aplicaciones
  • Fabricación de semiconductores
  • Procesos de deposición en capa delgada – recubrimientos de vidrio, tela y ópticos
  • Materiales perecederos liofilizados
  • Recubrimientos de alta tecnología para instrumentos médicos (instrumentos quirúrgicos, taladros dentales, etc.)
Especificaciones

Tipo de producto

Manómetro de capacitancia

Diferenciador

Sin calefacción

Desempeño

Temperatura

Ambiente

Rango de presión

10, 20, 50, 100, 500 y 1000 Torr Full Scale

Precisión

Tipo A = 0.25% de la lectura
Tipo B = 0,50% de la lectura

Rango de medición

4 Décadas

Efecto de la temperatura

En Cero
0,002% FS / °C

Sobre la envergadura
0,027% FS / °C

Mecánico

Materiales expuestos

Inconel

Límite de sobrepresión

45 psia

Tamaño

Compacto

Eléctrico

Comunicación analógica

0-10 Vcc (carga <10k Ohm)

Comunicación Digital

Cumplimiento de la normativa medioambiental

Directiva RoHS (2011/65/EU)
REACH Directiva CE 1907/2006

EMC

CE
Directiva 89/336/CEE

Certificaciones/Aprobaciones

Fuente de alimentación / Consumo

< 200 mW

Conexión eléctrica

DSub de 15 clavijas en cable de 6
DSub de 9 clavijas
Regleta de bornes de 5 polos

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