Serie 5850EMH

Controladores de flujo másico de alta temperatura serie 5850EMH

Estabilidad probada a largo plazo. Rendimiento ultra puro para aplicaciones de alta temperatura.

Modelos 5850EMH / 5851EMH

El controlador de caudal másico sellado metálico de alta temperatura serie 5850EMH de Brooks Instrument combina la excelente integridad de fugas de los sellos metálicos con una variedad de opciones que permiten la máxima flexibilidad de aplicación. El corazón de la serie 5850EMH es el sensor de alta estabilidad que proporciona una señal de salida eléctrica lineal con caudal. Esta señal se utiliza para fines de indicación, grabación y/o control sin necesidad de un circuito de puesta a cero automática.

 

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Descripción

Características

Alta integridad de fuga (menos de 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He)
Amplio rango de caudal (0,003 – 100 slpm)
Acero inoxidable VAR 316L de alta pureza
Sin partículas
Orificios de control de fugas de helio
Válvula normalmente cerrada (válvula normalmente abierta opcional)
Accionamiento eléctrico de la válvula
Corte de flujo de bajo comando
Función “valve off” compatible con TTL

Beneficios

Plataforma de producto estable y probada
Alta capacidad de flujo de hasta 100 lpm (equivalente a N2)
El paso de flujo totalmente metálico mejora la pureza del gas y reduce las fugas
Fácil instalación y mantenimiento con sólo entradas/salidas analógicas

Aplicaciones clave

Fabricación de fibra óptica – MCVD, OVD, AVD
Control de flujo de vapor de agua

Especificaciones

Tipo de producto

Controlador de flujo másico

Linealidad

Incluido en la precisión.

Repetibilidad

<±0.25% SP

Precisión

1% of FS

Rango de flujo (capacidad de escala completa)

100 slm (N2 equivalente)

Desempeño

Desempeño

Rango de flujo más alto
Tecnología probada y fiable

Tiempo de respuesta

<3 seg. hasta el 2% de SP (por SEMI E17-91)

Estabilidad cero

Mecánico

Material del sello

Metal

Nivel de pureza / Acabado de la superficie

Materiales mojados

316L, 316L VAR, & high alloy ferric SS

Opciones de válvulas

Normalmente abierto
Normalmente cerrado

Calificaciones

Temperatura máxima

105oC

Rango de presión diferencial

50 – 350 kPa (7 – 50 psid)

Presión Máxima

1 MPa (145 psi)

Integridad de las fugas

1×10-10 atm cc/sec He (1×10-11 Pa m3 /sec)

Eléctrico

Fuente de alimentación / Consumo

±15 Vdc @ 350 mA (max)

Conexión eléctrica

Conector “D” de 15 clavijas

Comunicación Digital

Comunicación analógica

0-5 Vdc

Capacidad de diagnóstico

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