Especificaciones |
| Tipo de producto | Controlador de flujo másico |
| Linealidad | Incluido en la precisión. |
| Repetibilidad | <±0.25% SP |
| Precisión | 1% of FS |
| Rango de flujo (capacidad de escala completa) | 100 slm (N2 equivalente) |
| Desempeño | Rango de flujo más alto Tecnología probada y fiable |
| Tiempo de respuesta | <3 seg. hasta el 2% de SP (por SEMI E17-91) |
| Estabilidad cero | |
| Mecánico | |
| Material del sello | Metal |
| Nivel de pureza / Acabado de la superficie | — |
| Materiales mojados | 316L, 316L VAR, & high alloy ferric SS |
| Opciones de válvulas | Normalmente abierto Normalmente cerrado |
| Temperatura máxima | 105oC |
| Rango de presión diferencial | 50 – 350 kPa (7 – 50 psid) |
| Presión Máxima | 1 MPa (145 psi) |
| Integridad de las fugas | 1×10-10 atm cc/sec He (1×10-11 Pa m3 /sec) |
| Fuente de alimentación / Consumo | ±15 Vdc @ 350 mA (max) |
| Conexión eléctrica | Conector “D” de 15 clavijas |
| Comunicación Digital | – |
| Comunicación analógica |
0-5 Vdc |
| Capacidad de diagnóstico | – |
