Serie 4800

4800 Series Elastomer Sealed Thermal Mass Flow Controllers & Meters

Respuesta ultrarrápida para procesos de flujo de tiempo crítico.

Modelos 4850 / 4860

Cuanto más rápido respondan sus controladores y medidores de flujo de masa térmica, más eficientes y productivos pueden ser sus procesos. Esa es la ventaja clave de los controladores y medidores de la Serie 4800: Un avanzado sensor térmico basado en MEMS, combinado con un algoritmo PID patentado para optimizar la respuesta de la válvula de control, hace posible que algunos controladores de la serie 4800 puedan hacer coincidir rápidamente el flujo másico real con cualquier cambio en el punto de ajuste. La Interfaz de Operador Local (LOI) opcional proporciona una interfaz de usuario conveniente para ver, controlar y configurar los dispositivos, eliminando la necesidad de electrónica secundaria remota.

 

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Descripción

Características
  • Tiempo de respuesta del caudal (tiempo de estabilización) <0,75 segundos
  • Sensor MEMS innovador y algoritmo PID propietario
  • El tamaño compacto es menos de la mitad del tamaño de los MFC térmicos típicos: 1″ x 3″ x 4″ (25 mm x 76 mm x 101 mm).
  • La interfaz de operador local (LOI) opcional simplifica la configuración y el funcionamiento; descarga gratuita de LabVIEW VI para monitorizar y poner a cero el dispositivo.
  • Capacidad digital a través de RS-232
Beneficios
  • Adecuado para una amplia gama de gases comunes no corrosivos
  • El tiempo de respuesta rápido asegura pasos rápidos durante los cambios de las recetas de proceso
  • Excelente para OEMs: El tamaño compacto facilita la integración en espacios reducidos de la máquina y acelera la instalación.
  • La Interfaz de Operador Local (LOI) opcional es una solución llave en mano para la indicación local, el control del punto de ajuste y la configuración del dispositivo; elimina la necesidad de electrónica secundaria remota.
  • La variedad de opciones de comunicación hace que sea fácil alinearse con los requisitos del usuario
Aplicaciones
  • Tratamiento térmico, corte/soldadura y otros procesos térmicos
  • Sistemas de deposición de vapor físico (PVD) solar/de película delgada
  • Dispositivos analíticos para medir y controlar los flujos de reactivos, calibración y muestras de gas
Especificaciones

Tipo de producto

Diferenciador

Tiempos de respuesta ultrarrápidos
Interfaz de operador local opcional
Tamaño compacto
Adecuado para gases no corrosivos

Calificaciones

Coeficiente de Temperatura de Flujo

Rango de control

2-100%

Configurabilidad Multi-Gas y Gama

Tiempo de respuesta

Válvula normalmente cerrada: 300 ms – <1 seg.

Repetibilidad

0.15% FS

Precisión

3.0% of FS
1.0% of FS (optativo)

Gases soportados

Rango de flujo (capacidad de escala completa)

50 sccm – 40 slpm

Desempeño

Rango de temperatura

5-50oC (41-122oF)

Presión Máxima

150 psig/10 barg

Rango de presión diferencial

3-860 sccm = 7-45 psid
861-7200 sccm = 15-45 psid
7201-55000 sccm = 25-45 psid
*Para obtener más información, póngase en contacto con el servicio de asistencia técnica de Brooks.

Integridad de las fugas

1×10-10 atm cc/sec He

Mecánico

Material del sello

Sello de elastómero

Wetted Materials

Acero inoxidable 316, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055

Diagnóstico y visualización

Capacidad de diagnóstico

Disponible

Eléctrico

Comunicación analógica

0-5 Vdc
4-20 mA

Comunicación Digital

RS232

Tamaño

Compacto

Cumplimiento de la normativa medioambiental

Directiva RoHS (2011/65/EU)
REACH Directiva CE 1907/2006

Certificaciones/Aprobaciones

ATEX Zona 2
CSA División 2/Zona 2 (Reconocida)

EMC

Directiva de compatibilidad electromagnética 2004/108/CE: según EN 61326:2006

Cumplimiento

Requerimientos de energía

El LOI incluye opcionalmente un adaptador de corriente para montaje en pared con un enchufe de CC de 3,5 mm. El adaptador funciona con tensiones de entrada de 90-240 V/47-63 Hz. El adaptador es compatible con enchufes de pared europeos, británicos, australianos y estadounidenses. La alimentación también puede ser suministrada por una conexión remota a través del conector D.

Adaptador de corriente

P/N: 641Z059AAA

Electrical Connection

Conectores D-sub de 15 clavijas wo

  • Uno para la conexión a la serie 4800
  • Uno para la conexión remota

Humedad

5 – 95% RH (ambiental)

Temperatura máxima

50°C

Área de visualización

28mm de ancho x 11mm de alto

Interfaz de Operador Local

P/N: 273L156ZZZ

Equipamiento opcional

Fuente de alimentación / Consumo

$$

Conexión eléctrica

Compacto

Entrada / Salida

0-5 Vcc, 4-20 mA, RS-232 (Estándar con todas las opciones de E/S analógicas)

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