Medidor de flujo másico Serie 4800

Modelos 4850 / 4860

Cuanto más rápido respondan sus controladores y medidores de flujo de masa térmica, más eficientes y productivos pueden ser sus procesos. Esa es la ventaja clave de los controladores y medidores de la Serie 4800: Un avanzado sensor térmico basado en MEMS, combinado con un algoritmo PID patentado para optimizar la respuesta de la válvula de control, hace posible que algunos controladores de la serie 4800 puedan hacer coincidir rápidamente el flujo másico real con cualquier cambio en el punto de ajuste. La Interfaz de Operador Local (LOI) opcional proporciona una interfaz de usuario conveniente para ver, controlar y configurar los dispositivos, eliminando la necesidad de electrónica secundaria remota.

 

CARACTERÍSTICAS


  • Tiempo de respuesta del caudal (tiempo de estabilización) <0,75 segundos
  • Sensor MEMS innovador y algoritmo PID propietario
  • El tamaño compacto es menos de la mitad del tamaño de los MFC térmicos típicos: 1" x 3" x 4" (25 mm x 76 mm x 101 mm).
  • La interfaz de operador local (LOI) opcional simplifica la configuración y el funcionamiento; descarga gratuita de LabVIEW VI para monitorizar y poner a cero el dispositivo.
  • Capacidad digital a través de RS-232

VENTAJAS


  • Adecuado para una amplia gama de gases comunes no corrosivos
  • El tiempo de respuesta rápido asegura pasos rápidos durante los cambios de las recetas de proceso
  • Excelente para OEMs: El tamaño compacto facilita la integración en espacios reducidos de la máquina y acelera la instalación.
  • La Interfaz de Operador Local (LOI) opcional es una solución llave en mano para la indicación local, el control del punto de ajuste y la configuración del dispositivo; elimina la necesidad de electrónica secundaria remota.
  • La variedad de opciones de comunicación hace que sea fácil alinearse con los requisitos del usuario

APLICACIONES


  • Tratamiento térmico, corte/soldadura y otros procesos térmicos
  • Sistemas de deposición de vapor físico (PVD) solar/de película delgada
  • Dispositivos analíticos para medir y controlar los flujos de reactivos, calibración y muestras de gas

Especificaciones

 

Tipo de producto
Diferenciador Tiempos de respuesta ultrarrápidos
Interfaz de operador local opcional
Tamaño compacto
Adecuado para gases no corrosivos
Coeficiente de Temperatura de Flujo
Rango de control 2-100%
Tiempo de respuesta Válvula normalmente cerrada: 300 ms – <1 seg.
Repetibilidad 0.15% FS
Precisión 3.0% of FS
1.0% of FS (optativo)
Gases soportados
Rango de flujo (capacidad de escala completa) 50 sccm – 40 slpm
Rango de temperatura 5-50oC (41-122oF)
Presión Máxima 150 psig/10 barg
Rango de presión diferencial 3-860 sccm = 7-45 psid
861-7200 sccm = 15-45 psid
7201-55000 sccm = 25-45 psid
*Para obtener más información, póngase en contacto con el servicio de asistencia técnica de Brooks.
Integridad de las fugas 1×10-10 atm cc/sec He
Material del sello Sello de elastómero
Wetted Materials Acero inoxidable 316, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055
Capacidad de diagnóstico Disponible
Comunicación analógica 0-5 Vdc
4-20 mA
Comunicación Digital RS232
Tamaño Compacto
Cumplimiento de la normativa medioambiental Directiva RoHS (2011/65/EU)
REACH Directiva CE 1907/2006
Certificaciones/Aprobaciones ATEX Zona 2
CSA División 2/Zona 2 (Reconocida)
EMC Directiva de compatibilidad electromagnética 2004/108/CE: según EN 61326:2006
Requerimientos de energía El LOI incluye opcionalmente un adaptador de corriente para montaje en pared con un enchufe de CC de 3,5 mm. El adaptador funciona con tensiones de entrada de 90-240 V/47-63 Hz. El adaptador es compatible con enchufes de pared europeos, británicos, australianos y estadounidenses. La alimentación también puede ser suministrada por una conexión remota a través del conector D.
Adaptador de corriente P/N: 641Z059AAA
Electrical Connection Conectores D-sub de 15 clavijas wo

  • Uno para la conexión a la serie 4800
  • Uno para la conexión remota
Humedad 5 – 95% RH (ambiental)
Temperatura máxima 50°C
Área de visualización 28mm de ancho x 11mm de alto
Interfaz de Operador Local P/N: 273L156ZZZ
Fuente de alimentación / Consumo $$
Conexión eléctrica Compacto
Entrada / Salida 0-5 Vcc, 4-20 mA, RS-232 (Estándar con todas las opciones de E/S analógicas)

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