Models GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121
Lliurament ràpid i repetible de gasos de procés amb alts i ultra alts nivells de puresa: aquest és el rendiment que proporciona la sèrie GF100 de controladors i mesuradors de flux màssic segellats amb metall. Dissenyada per a aplicacions de control de flux de semiconductors, MOCVD i altres aplicacions de control de flux de gas, la sèrie GF100 supera l’estàndard de la indústria de semiconductors quant a fiabilitat, garantint un rendiment repetible i altament estable al llarg del temps. La tecnologia estàndard MultiFloTM permet que un MFC admeti milers de tipus de gas i combinacions de rangs sense necessitat de retirar-lo de la línia de gas ni comprometre’n la precisió.
El resultat: més flexibilitat i eficiència del procés combinada amb els més alts nivells de puresa del gas de procés de la indústria per ajudar a maximitzar el rendiment i la productivitat.
Especificacions |
| Tipus de producte | Controlador de flux màssic |
| Diferenciador | Alta puresa/Ultra-Alta puresa Sèrie GF estàndard Sèrie GF d’alt cabal |
| Rang de flux (capacitat d’escala completa) | Sèrie GF estàndard: 3 sccm – 55 slm Sèrie GF d’alt cabal: 55 slm – 300 slm |
| Precisió | ±1% SP> 35-100% ±0.35% FS 2-35% |
| Repetibilitat | <±0.15% SP |
| Linealitat | ±0.5% FS (inclòs a la precisió) |
| Temps de resposta | Vàlvula normalment tancada: 700 ms -< 1 seg. Lliurament de gas SDS: 3 seg.< 3 seg. |
| Temps de resposta | Vàlvula normalment oberta:< 1,5 segons (models específics) |
| Configurabilitat Multi-Gas i Gamma | MultiFlo™ Estàndard (la majoria dels models) |
| Insensibilitat transitòria a la pressió | — |
| Rang de control | Sèrie GF estàndard:< 3-100% Sèrie GF d’alt cabal: 5-100% |
| Nombre d’ubicacions | Sèrie GF estàndard: 11 cubs Sèrie GF d’alt cabal: 4 cubs |
| Vàlvula de tancament | Sèrie GF estàndard:< 1% FS Sèrie GF d’alt cabal:< 2% FS @ 30 N2 psig/atm out |
| Estabilitat zero | <±0.5% FS a l’any |
| Coeficient de Temperatura de Flux | Span: 0.05% SP per °C Zero: 0.005% FS per °C |
| Material del segell | Metall |
| Nivell de puresa / Acabat de la superfície | 4 – 10µ inch Ra |
| Materials mullats | Compleix amb SEMI F20 HP/UHP 316L VIM/VAR Hastelloy C-22 Acer inoxidable 316L Acer inoxidable 304 KM-45 |
| Opcions de vàlvules | Normalment tancat Normalment obert (només en determinats models) Mesurador (sense vàlvula) |
| Temperatura màxima | 50 o C |
| Rang de pressió diferencial | 3-860 sccm = 7-45 psid 861-7200 sccm = 10-45 psid 7201-55000 sccm = 15-45 psid 51 slm-300 slm = 30-90 psid *Caigudes de pressió típiques. Poseu-vos en contacte amb el servei d’assistència tècnica de Brooks per obtenir més informació. |
| Pressió Màxima | Sèrie GF estàndard: 500 psia màx. Sèrie GF d’alt cabal: 75 psig (controlador), 150 psig (mesurador) |
| Integritat de les fuites | 1×10 -10 atm cc/sec He |
| Capacitat de diagnòstic | Disponible |
| Llums d’estat | MFC Salut Estat de la xarxa |
| Alarmes | Sortida de la vàlvula de control Interrupció de la xarxa |
| Diagnòstic / Port de servei | RS-485 via 2.5mm jack (all models) |
| Pantalla | LCD integrat de muntatge superior Angle de visió: Fix Distància de visió: 10 peus Unitats mostrades: Cabal (%), Temperatura (°C), Pressió (psia, kPa) Resolució: 0,1 (unitat) |
| Comunicació analògica | 0-5 Vdc |
| Comunicació Digital | DeviceNet™ Protocol L RS485 |
| Connexió elèctrica | Analògic/RS485 a través de connector “D” de 9 clavilles DeviceNet™ a través del connector “M12” de 5 pols Diversos adaptadors de cable disponibles. Consulteu el full de dades del producte per obtenir més informació. |
| Power Supply / Consumption | Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%) DeviceNet™: 545 mA màx @ 11-25 Vdc, 250 mA màx @ 24 Vdc (Under typical operating conditions) |
| Compliment | |
| EMC | Directiva 2004/108/CE de la CE CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 i Canada IC-subset of CE testing) |
| Compliment de la normativa mediambiental | Directiva RoHS (2011/65/EU) REACH Directiva CE 1907/2006 |
