
Modelos CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3
Maximice la eficiencia y el rendimiento de sus procesos dependientes del vacío: Elija manómetros digitales de capacitancia de vacío serie XacTorr® de Brooks Instrument. Los dispositivos de la serie XacTorr® incorporan características líderes en la industria que mejoran la fiabilidad de las mediciones, minimizan la deriva, resisten la contaminación del diafragma y minimizan los efectos térmicos.
El avanzado sensor Mark-IV contiene áreas de superficie que no se utilizan en la medición de la presión, proporcionando ubicaciones para la acumulación de partículas y vapores condensables. Esto reduce la necesidad de volver a poner a cero el medidor y aumenta la vida útil del sensor sin arriesgar la deriva del sensor. Además, un sensor de respuesta rápida opcional está disponible para un rendimiento superior de control de lazo cerrado.
El resultado: una medición de vacío ultra precisa, repetible y eficiente que asegura que cada vez que se evacua una cámara, ésta alcanza el Torr preciso que su proceso requiere para una producción limpia y libre de contaminantes.
Especificaciones |
| Tipo de producto |
Manómetro de capacitancia
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| Diferenciador | Con o sin calefacción Analógico o digital |
| temperatura | Ambiente CMX0 CMX1 45°C CMX2 100°C CMX3 160°C |
| Rango de presión | 0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr Referencias mBar y Pascal disponibles |
| Precisión | CMX0: 0.25% de Lectura CMX1, CMX2: de 1 a 1000 rangos torrenciales = 0,15% de lectura CMX1, CMX2: < 1 Rango de Torr = 0.25% de Lectura |
| Rango de medición | 4 Décadas |
| efecto de temperatura | En Cero 0,002% FS / °CSobre la envergadura 0,02% FS / °C |
| Materiales expuestos | Inconel® y/o Acero Inoxidable AISI 316L |
| Límite de sobrepresión | 17 psia o 125% de la escala completa, lo que sea mayor |
| CEM | Totalmente certificado por la CE según la directiva de compatibilidad electromagnética 89/336/EEC |
| Fuente de alimentación / Consumo | La potencia CMX0 requerida es de 200 mA @ ±15 Vdc
Entrada de energía en los modelos analógicos de calentamiento inicial, valores típicos1: CMX1 – 270 mA@±15 Vcc (±5%); CMX2 – 620 mA @ ± 15 Vcc (±5%) Entrada de alimentación en modelos analógicos de estado estacionario, valores típicos1:CMX1 – 175 mA @ ±15 Vdc (±5%); CMX2 – 350 mA @ ±15 Vdc (±5%) Entrada de energía en los modelos DeviceNet de calentamiento inicial, valores típicos: CMX1 – 400 mA a 24 Vcc; CMX2 – 900 mA a 24 Vcc Entrada de energía en los modelos DeviceNet de estado estacionario, valores típicos: CMX1 – 300 mA @ 24 Vdc CMX2 – 600 mA @ 24 Vdc El modelo Sub D macho de 1,15 clavijas requiere 40 mA adicionales para alimentar los relés internos (si están energizados). |
| Conexión eléctrica | Analógico/RS485 a través de un conector «D» de 9 o 15 clavijas DeviceNet™ a través del conector «M12» de 5 polos Varios adaptadores de cable disponibles. Consulte la hoja de datos del producto para obtener más información. |
| Comunicación Digital | DeviceNet™ RS485 |
| Comunicación analógica | 0-10 Vcc 5k Ohm carga |
| envergadura | Grande |