El modelo SLA7840 de Brooks es un instrumento sellado de metal de alta pureza que controla la presión mientras mide el caudal. Una señal del transductor de presión remoto, junto con una electrónica de control PID integrada y ajustable y una válvula de control coplanar, mantiene la presión de ajuste deseada. La válvula coplanar reduce la sensibilidad a las variaciones de presión y ofrece menores tasas de fugas en comparación con otros controladores sellados con metal, lo que garantiza un proceso más estable a lo largo del tiempo.
Especificaciones |
| Diferenciador | Modo de control: Aguas abajo o aguas arriba Transductor remoto Amplio rango de caudal y presión |
| Tipo de producto |
Controlador de presión y medidor de flujo |
| Rango de flujo (capacidad de escala completa) |
Cualquier rango de 0 a 3 sccm a 0 a 30.000 sccm N2 Eq. |
| Precisión | ±1% de la tasa 20-100% F.S. ±0,2% V.S. < 20% V.S. |
| Repetibilidad | ±0,2% de la tasa |
| Coeficiente de Temperatura de Flujo | Cero: Menos de 0,035% FS por °C Span: Menos del 0,1% de Índice por °C |
| Rango de presión | Dependent upon remote pressure transducer, maximum 500 psig. |
| Pressure Control Range | 20:1 |
| Tiempo de respuesta | < 1 segundo típico para un paso de 20-100% del punto de ajuste con un máximo de 2% de sobreoscilación. La respuesta real de la presión depende del diseño del sistema. |
| Presión Máxima | 500 psig |
| Rango de temperatura ambiente | En funcionamiento: 0°C hasta 60°C No operativa: -25°C a 100°C Fluido: 0°C a 65°C |
| Integridad de las fugas | Dentro y Fuera de borda 1 x 10-10 atm scc/sec Helio max |
| Material del sello | metalúrgico |
| Fuente de alimentación / Consumo | Analógico: +15 Vcc, ±5% (se ignora el pin tradicional de -15 Vcc) DeviceNet™: 11 – 25 Vcc |
| Conexión eléctrica | Analógica a través de un conector «D» de 15 clavijas DeviceNet™ a través de conector «M12» de 5 polos |
| Comunicación Digital |
DeviceNet™
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| Comunicación analógica |
0 – 5 Vcc |
| Capacidad de diagnóstico | Disponible |
| Opciones de válvulas |
Normalmente cerrado |
| Materiales mojados | 316L Arco refundido al vacío (VAR) 316L Acero inoxidable ferrítico de alta aleación Sellos externos/internos: Níquel Asiento de la válvula: Acero inoxidable 316L – estándar |
| Nivel de pureza / Acabado de la superficie |
32 µ pulgada Ra |
