Modelos PC115 / PC125
Los controladores y medidores de presión de la serie PC100 combinan una serie de características tecnológicas de alto rendimiento para ofrecer un nuevo nivel de precisión y fiabilidad en el control de la presión para los exigentes procesos de fabricación de semiconductores, deposición de vapor y otros procesos de fabricación de alta precisión.
Construida sobre la probada tecnología de controlador de flujo másico GF100 de Brooks, la serie PC100 presenta una trayectoria de flujo totalmente metálica de alta pureza, una tecnología de sensor mejorada diseñada específicamente para eliminar la deriva del sensor y una interfaz de usuario y una capacidad de diagnóstico de dispositivos que facilita enormemente la evaluación de dispositivos y la resolución de problemas, lo que resulta en una interrupción limitada del servicio y un tiempo de inactividad reducido.
Especificaciones |
| Rango de flujo (capacidad de escala completa) | 10 slm (sólo N2 o H2) |
| Diferenciador | Modo de control: Aguas abajo o aguas arriba Pureza ultra alta Control de presión digital |
| Tipo de producto | Controlador de presión |
| Precisión | Lectura de presión: ± 1% de la lectura Control de presión: ± 0,2% de F.S. <10% F.S.; ± 1% de lectura >10% a 100% F.S. Lectura de flujo: ± 0,35% de F.S. 2-35% F.S.; ± 1% de lectura >35% F.S. |
| Repetibilidad | < ±0.2% F.S. |
| Coeficiente de Temperatura de Flujo | Cero: < 0.05% F.S./°C Span: < 0,08% de la lectura/°C |
| Presión Máxima | 1000 Torr FS |
| Rango de control de presión | > 2 to 100% |
| Tiempo de respuesta | Tiempo de respuesta |
| Rango de temperatura | 10 – 50°C |
| Integridad de las fugas | Externo: 1 x 10-10 atm scc/sec He max |
| Material del sello | Metalúrgico |
| Nivel de pureza / Acabado de la superficie | 5 µ pulgada Ra |
| Materiales mojados | Cumple con SEMI F20 HP 316L VIM/VAR Hastelloy C-22 Acero inoxidable 316L Acero inoxidable 304 |
| Opciones de válvulas | Normalmente cerrado |
| Cumplimiento de la normativa medioambiental | RoHS Directive (2011/65/EU) REACH Directive EC 1907/2006 |
| EMC | Directiva CE 2014/30/UE CE: EN61326-1: 2013 |
| Fuente de alimentación / Consumo | DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc |
| Conexión eléctrica | DeviceNet™ a través de conector «M12» de 5 polos |
| Comunicación Digital | DeviceNet™ |
| Comunicación analógica | — |
| Diagnostic Capability | Disponible |
