Modelos 5850EMH / 5851EMH
El controlador de caudal másico sellado metálico de alta temperatura serie 5850EMH de Brooks Instrument combina la excelente integridad de fugas de los sellos metálicos con una variedad de opciones que permiten la máxima flexibilidad de aplicación. El corazón de la serie 5850EMH es el sensor de alta estabilidad que proporciona una señal de salida eléctrica lineal con caudal. Esta señal se utiliza para fines de indicación, grabación y/o control sin necesidad de un circuito de puesta a cero automática.
Especificaciones |
| Tipo de producto | Controlador de flujo másico |
| Linealidad | Incluido en la precisión. |
| Repetibilidad | <±0.25% SP |
| Precisión | 1% of FS |
| Rango de flujo (capacidad de escala completa) | 100 slm (N2 equivalente) |
| Desempeño | Rango de flujo más alto Tecnología probada y fiable |
| Tiempo de respuesta | <3 seg. hasta el 2% de SP (por SEMI E17-91) |
| Estabilidad cero | |
| Mecánico | |
| Material del sello | Metal |
| Nivel de pureza / Acabado de la superficie | — |
| Materiales mojados | 316L, 316L VAR, & high alloy ferric SS |
| Opciones de válvulas | Normalmente abierto Normalmente cerrado |
| Temperatura máxima | 105oC |
| Rango de presión diferencial | 50 – 350 kPa (7 – 50 psid) |
| Presión Máxima | 1 MPa (145 psi) |
| Integridad de las fugas | 1×10-10 atm cc/sec He (1×10-11 Pa m3 /sec) |
| Fuente de alimentación / Consumo | ±15 Vdc @ 350 mA (max) |
| Conexión eléctrica | Conector «D» de 15 clavijas |
| Comunicación Digital | – |
| Comunicación analógica |
0-5 Vdc |
| Capacidad de diagnóstico | – |
