Generic filters
Generic filters

SLA7840

Controlador de pressió i mesurador de cabal segellat metàl·lic SLA7840

Camí de flux d’alta puresa. Repetibilitat, estabilitat i temps de resposta superiors.

Models SLA7840

El model Brooks SLA7840 és un instrument segellat amb metall d’alta puresa que controla la pressió mentre mesura el cabal. Un senyal de transductor de pressió remot, juntament amb electrònica de control PID integral ajustable i una vàlvula de control coplanar, manté la pressió de consigna desitjada. La vàlvula coplanar redueix la sensibilitat a les variacions de pressió i ofereix taxes de fuites més baixes en comparació amb altres controladors segellats amb metall, garantint un procés més estable al llarg del temps.

Característiques

  • Transductor de pressió integral
  • Temps de resposta:< 1 segon
  • Ampli rang de mesura de cabal amb cabals a escala completa de 0 a 3 sccm a 0 a 30.000 sccm
  • Pressió màxima 500 psig
  • Camí de flux de segellat totalment metàl·lic: acabat superficial màxim de 32µ polzades Ra
  • La vàlvula coplanar ofereix taxes de fuites més baixes
  • La capacitat multigas/multirang permet l’emmagatzematge i la preprogramació de fins a 10 calibratges i rangs de gas en un sol dispositiu
  • Opcions de comunicació analògica i DeviceNet®

 

Beneficis

  • Un rang de control de vàlvules coplanar més gran redueix la sensibilitat a les variacions de pressió en el procés, garantint un procés més estable al llarg del temps
  • Tot el camí de flux humit de metall per mantenir unes condicions de procés lliures de partícules, humitat i contaminació
  • El dispositiu també es pot configurar com a controlador de flux màssic per a fins de calibratge o prova
  • La capacitat multigas/multirang redueix l’inventari
  • El major rang de control proporcionat per la vàlvula coplanar redueix el nombre de peces necessàries per controlar el procés
  • Petjada compacta i que estalvia espai, fàcilment adaptable
  • La comunicació digital ofereix una posada en marxa fàcil i un cablejat del sistema reduït

Especificacions

Classificacions de rendiment mecànic elèctric

Diferenciador Mode de control: riu avall o riu amunt
Transductor remot
Ampli rang de flux i pressió
Tipus de producte

Controlador de pressió i mesurador de cabal

Rang de cabal (capacitat a escala completa)

Qualsevol rang de 0 a 3 sccm a 0 a 30.000 sccm. Eq. de N2.

Precisió ±1% de la velocitat 20-100% FS
±0,2% FS< 20% de garantia de servei
Repetibilitat ±0,2% de la taxa
Coeficient de temperatura de flux Zero: Menys del 0,035% FS per °C
Abast: Menys del 0,1% de la velocitat per °C
Rang de pressió Depèn del transductor de pressió remot, màxim 500 psig.
Rang de control de pressió 20:1
Temps de resposta <1 segon típic per a un pas del 20-100% del punt de consigna amb un sobrepassament màxim del 2%.
La resposta a la pressió real depèn del disseny del sistema.
Pressió màxima 500 psig
Rang de temperatura ambient Funcionament: de 0 °C a 60 °C
Fora de funcionament: de -25 °C a 100 °C
Fluid: de 0 °C a 65 °C
Integritat de fuites D’interior a exterior
1 x 10-10 atm scc/seg Heli màx
Material del segell Metall
Font d’alimentació / Consum Analògic: +15 Vcc, ±5% (s’ignora el pin tradicional de -15 Vcc)
DeviceNet™: 11 – 25 V CC
Connexió elèctrica Analògic via connector “D” de 15 pins
DeviceNet™ mitjançant connector “M12” de 5 pins
Comunicació digital
DeviceNet™
Comunicació analògica

0 – 5 V CC

Capacitat de diagnòstic Disponible
Opcions de vàlvules

Normalment tancat

Materials humits Refusió per arc al buit 316L (VAR)
316L
Acer inoxidable ferrític d’alta aleació
Segells externs/interns: Níquel
Seient de vàlvula: acer inoxidable 316L – estàndard
Nivell de puresa / acabat superficial

32 µ polzades Ra

 

Productes relacionats

Sol·licitar informació