Models CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3
Maximitzeu l’eficiència i el rendiment dels vostres processos dependents del buit: trieu els manòmetres de condensació de buit digitals de la sèrie XacTorr® de Brooks Instrument. Els dispositius de la sèrie XacTorr® incorporen característiques líders en la indústria que milloren la fiabilitat de la mesura, minimitzen la deriva, resisteixen la contaminació del diafragma i minimitzen els efectes tèrmics.
El sensor Mark-IV avançat conté superfícies que no s’utilitzen en el mesurament de la pressió, cosa que proporciona ubicacions per a l’acumulació de partícules i vapors condensables. Això redueix la necessitat de tornar a posar a zero el manòmetre i augmenta la vida útil del sensor sense risc de deriva. A més, hi ha disponible un sensor de resposta ràpida opcional per a un rendiment superior del control de circuit tancat.
El resultat: mesurament de buit ultraprecis, repetible i eficient que garanteix que cada vegada que s’evacua una cambra, s’assoleix el Torr precís que el procés requereix per a una producció neta i lliure de contaminants.
Característiques
|
Beneficis
|
Aplicacions
|
Especificacions |
Certificacions/aprovacions mecàniques de rendiment elèctric
| Tipus de producte |
Manòmetre de capacitança
|
| Diferenciador | Calefacció o sense calefacció Analògic o digital |
| Temperatura | CMX0 Ambient CMX1 45°C CMX2 100 °C CMX3 160 °C |
| Rang de pressió | 0,1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr Referències disponibles en mBar i Pascal |
| Precisió | CMX0: 0,25% de la lectura CMX1, CMX2: Rangs d’1 a 1000 Torr = 0,15% de la lectura CMX1, CMX2:< Rangs d’1 Torr = 0,25% de la lectura |
| Rang de mesura | 4 dècades |
| Efecte de la temperatura | A zero 0,002% FS / °COn Span 0,02% FS / °C |
| Materials exposats | Inconel® i/o acer inoxidable AISI 316L |
| Límit de sobrepressió | 17 psia o 125% de l’escala completa, el que sigui més gran |
| Compatibilitat electromagnètica (EMC) | Totalment certificat CE segons la Directiva EMC 89/336/CEE |
| Font d’alimentació / Consum | L’alimentació requerida per al CMX0 és de 200 mA a ±15 V CC
Entrada d’alimentació en l’escalfament inicial Models analògics, valors típics1: CMX1 – 270 mA a ±15 V CC (±5%); CMX2 – 620 mA a ± 15 V CC (±5%) Entrada d’alimentació en estat estacionari Models analògics, valors típics1: CMX1 – 175 mA a ±15 V CC (±5%); CMX2 – 350 mA a ± 15 V CC (±5%) Entrada d’alimentació en l’escalfament inicial Models DeviceNet, valors típics: CMX1 – 400 mA a 24 V CC; CMX2 – 900 mA a 24 V CC Entrada d’alimentació en estat estacionari Models DeviceNet, valors típics: CMX1 – 300 mA a 24 V CC CMX2 – 600 mA a 24 V CC El model Sub D mascle d’1,15 pins requereix 40 mA addicionals per alimentar els relés interns (si estan energitzats). |
| Connexió elèctrica | Analògic/RS485 mitjançant connector “D” de 9 o 15 pins DeviceNet™ mitjançant connector “M12” de 5 pins Diversos adaptadors de cable disponibles. Vegeu la fitxa tècnica del producte per obtenir més informació. |
| Comunicació digital | DeviceNet™ RS485 |
| Comunicació analògica | Càrrega de 0-10 V CC i 5 k Ohms |
| Mida | Gran |
