Models PC115 / PC125
Els controladors i mesuradors de pressió de la sèrie PC100 combinen una sèrie de funcions tecnològiques d’alt rendiment per oferir un nou nivell de precisió i fiabilitat en el control de pressió per a processos de fabricació ultraprecisos, deposició de vapor i altres semiconductors exigents.
Construïda sobre la tecnologia provada de controlador de flux màssic Brooks GF100, la sèrie PC100 compta amb una ruta de flux totalment metàl·lica d’alta puresa, una tecnologia de sensors millorada dissenyada específicament per eliminar la deriva del sensor i una interfície d’usuari i una capacitat de diagnòstic del dispositiu que facilita molt l’avaluació i la resolució de problemes del dispositiu, la qual cosa resulta en una interrupció del servei limitada i un temps d’inactivitat reduït.
Característiques
|
Beneficis
|
Aplicacions
|
Especificacions |
Conformitat elèctrica mecànica de rendiment
| Rang de cabal (capacitat a escala completa) | 10 slm (només N2 o H2) |
| Diferenciador | Mode de control: riu avall o riu amunt Puresa ultraalta Control de pressió digital |
| Tipus de producte | Controlador de pressió |
| Precisió | Lectura de pressió: ± 1% de la lectura Control de pressió: ± 0,2% de FS< 10% FS; ± 1% de la lectura> 10% a 100% de la FS Lectura de cabal: ± 0,35% de l’excés complet (FS) 2-35% FS; ± 1% de la lectura> 35% de garantia de servei |
| Repetibilitat | <±0,2% FS |
| Coeficient de temperatura de flux | Zero:< 0,05% FS/°C Espai:< 0,08% de la lectura/°C |
| Pressió màxima | 1000 Torr FS |
| Rang de control de pressió | >del 2 al 100% |
| Temps de resposta | < 1 segon típic (excloent la constant de temps del sistema) |
| Rang de temperatura | 10 – 50 °C |
| Integritat de fuites | Extern: 1 x 10⁻¹ atm scc/seg He màx |
| Material del segell | Metall |
| Nivell de puresa / acabat superficial | 5 µ polzades Ra |
| Materials humits | Compatible amb SEMI F20 HP 316L VIM/VAR Hastelloy C-22 Acer inoxidable 316L Acer inoxidable 304 |
| Opcions de vàlvules | Normalment tancat |
| Compliment ambiental | Directiva RoHS (2011/65/UE) Directiva REACH CE 1907/2006 |
| Compatibilitat electromagnètica (EMC) | Directiva CE 2014/30/UE CE: EN61326-1: 2013 |
| Font d’alimentació / Consum | DeviceNet™: 545 mA màx. a +11-25 V CC |
| Connexió elèctrica | DeviceNet™ mitjançant connector “M12” de 5 pins |
| Comunicació digital | DeviceNet™ |
| Comunicació analògica | — |
| Capacitat de diagnòstic | Disponible |
