Models GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126
Temps de resposta ultraràpids i el més alt nivell de puresa: la sèrie GF125 són controladors i mesuradors de flux màssic multivariable de segona generació insensibles als transitoris de pressió (PTI) amb segell metàl·lic. El GF125 és el primer a introduir la tecnologia de control de flux màssic PTI al mercat i minimitza la variació del flux de gas de procés a causa de les fluctuacions de pressió i temperatura. La tecnologia estàndard MultiFlo™ permet que un MFC admeti milers de tipus de gas i combinacions de rangs sense treure’l de la línia de gas ni comprometre’n la precisió.
El resultat: mida i cost reduïts dels panells de gas, eliminant la necessitat de reguladors de pressió al punt d’ús, transductors de pressió i maquinari associat, combinat amb el millor rendiment de la indústria PTI per maximitzar el rendiment i la productivitat.
Rendiment perfeccionat per a processos de semiconductors
Especificacions |
| Tipus de producte | Controlador de flux màssic |
| Diferenciador | Comunicació EtherCAT Alta puresa/Ultra-Alta puresa Diagnòstic integrat Sensor de flux ultraestable Apagat millorat de la vàlvula |
| Nivell de puresa / Acabat de la superfície | 5 – 10µ polzades Ra |
| Material del segell | metal·lúrgic |
| Coeficient de Temperatura de Flux | Span: 0,05% PS per °C Zero: 0.005% FS per °C |
| Estabilitat zero | <0.15% FS per any |
| Vàlvula de tancament | Sèrie GF estàndard:< 0.15% FS Sèrie GF d’alt cabal:< 2% FS @ 30 N2 psig/atm out |
| Nombre d’ubicacions | Sèrie GF estàndard: 11 cubs Sèrie GF d’alt cabal: 4 cubs |
| Rang de control | Sèrie GF estàndard: 2-100%. Sèrie GF d’alt cabal: 5-100% |
| Configurabilitat Multi-Gas i Gamma | MultiFlo™ Estàndard (la majoria dels models) |
| Insensibilitat transitòria a la pressió | Models específics |
| Temps de resposta | Vàlvula normalment oberta:< 1,5 segons (models específics) |
| Temps de resposta | Vàlvula normalment tancada: 300 ms -< 1 seg. Lliurament de gas SDS: 3 seg.< 3 seg. |
| Repetibilitat | ±0.15% SP |
| Precisió | Sèrie GF estàndard: ±1% PS> 20-100%; ±0,2% PS 2-20%. Sèrie GF d’alt cabal: ±1% PS> 35-100%; ±0,35% PS 2-35%. |
| Rang de flux (capacitat d’escala completa) | Sèrie GF estàndard: 3 sccm – 55 slm Sèrie GF d’alt cabal: 55 slm – 300 slm |
| Materials mullats | Compleix amb SEMI F20 HP/UHP 316L VIM/VAR Hastelloy C-22 Acer inoxidable 316L Acer inoxidable 304 KM-45 |
| Opcions de vàlvules | Normalment tancat Normalment obert (només en determinats models) Mesurador (sense vàlvula) |
| Temperatura màxima | 50oC |
| Rang de pressió diferencial | 3-860 sccm = 7-45 psid 861-7200 sccm = 10-45 psid 7201-55000 sccm = 15-45 psid 51 slm-300 slm = 30-90 psid Models SDS 10 Torr- 30 psid típic *Pèrdues de càrrega típiques. Poseu-vos en contacte amb el servei d’assistència tècnica de Brooks per obtenir més informació. |
| Pressió Màxima | Sèrie GF estàndard: fins a 500 psia màx. Sèrie GF d’alt cabal: 75 psig (controlador), 150 psig (mesurador) |
| Integritat de les fuites | 1×10-10 atm cc/sec He |
| Capacitat de diagnòstic | Disponible |
| Llums d’estat | Corre Error Potència Estat de la xarxa |
| Alarmes | Sortida de la vàlvula de control Interrupció de la xarxa Temperatura Alta/Baixa Pressió Alta/Baixa Sobretensió/Caiguda de tensió |
| Font d’alimentació / Consum | 24 Vdc, 7 Watts (Under typical operating conditions) |
| Electrical Connection | Alimentació a través del connector M8 de 5 pols, EtherCAT mitjançant un doble RJ45 |
| Comunicació Digital | EtherCAT |
| Comunicació analògica | — |
| Pantalla | LCD integrat de muntatge superior Angle de visió: Fix Distància de visió: 10 peus Unitats mostrades: Cabal (%), Temperatura (°C), Pressió (psia, kPa) Resolució: 0,1 (unitat) |
| Diagnòstic / Port de servei | Micro USB |
