Generic filters
Generic filters

Sèrie CMC

Manòmetres de capacitança de la sèrie CMC

Manòmetres compactes i provats sense calefacció per a un mesurament de buit rendible.

Models CMC

Els manòmetres de capacitança de la sèrie CMC de Brooks Instrument ofereixen mesures de buit fiables i precises en una àmplia gamma de temperatures de funcionament, proporcionant una alternativa econòmica als manòmetres premium més grans sense calefacció. El seu disseny compacte i el seu rendiment provat el converteixen en una actualització ideal per a les eines existents que necessiten un manòmetre de format reduït.

El disseny totalment soldat i les superfícies humitejades Iconel® garanteixen un funcionament fiable i repetible fins i tot en els processos més agressius. La combinació de components de precisió i un ampli rang de funcionament amb compensació de temperatura permet a Brooks oferir els millors coeficients de temperatura zero i de rang de la seva classe per a una estabilitat de mesura òptima.

Característiques

  • Disponible per a rangs de procés de 10 Torr a 1000 Torr
  • Dos nivells de precisió disponibles: 0,25% o 0,50% de la lectura (opcional)
  • Rendiment excepcional en una àmplia gamma de temperatures de funcionament
  • Un 40% més petit que els manòmetres de capacitança tradicionals sense calefacció
  • Construcció totalment soldada i superfícies mullades d’Inconel®

Beneficis

  • Calibratge opcional d’alta precisió que iguala la precisió dels manòmetres premium sense calefacció més costosos
  • Els millors coeficients de temperatura zero i de rang de la seva classe
  • El disseny que estalvia espai ajuda a adaptar el dispositiu a espais de màquina reduïts
  • Repetibilitat òptima de la mesura en comparació amb altres dissenys propensos a tensions internes que indueixen errors

Aplicacions

  • Fabricació de semiconductors
  • Processos de deposició de pel·lícules primes: vidre, làmina i recobriments òptics
  • Liofilització de materials peribles
  • Recobriments d’alta tecnologia per a instruments mèdics (instruments quirúrgics, trepants dentals, etc.)

Especificacions

Certificacions/Aprovacions de rendiment mecànic elèctric

Tipus de producte Manòmetre de capacitança
Diferenciador Sense calefacció
Temperatura Ambient
Rang de pressió 10, 20, 50, 100, 500 i 1000 Torr a escala completa
Precisió Tipus A = 0,25% de la lectura
Tipus B = 0,50% de la lectura
Rang de mesura 4 dècades
Efecte de la temperatura A zero
0,002% FS / °COn Span
0,027% FS / °C
Materials exposats Inconel
Límit de sobrepressió 45 psia
Mida Compacte
Comunicació analògica 0-10 V CC (< càrrega de 10 kOhms)
Comunicació digital
Compliment ambiental Directiva RoHS (2011/65/UE)
Directiva REACH CE 1907/2006
Compatibilitat electromagnètica (EMC) CE
Directiva 89/336/CEE
Font d’alimentació / Consum <200 mW
Connexió elèctrica DSub de 15 pins en cable de 6 polzades
DSub de 9 pins
Regleta de terminals de 5 pins

Productes relacionats

Sol·licitar informació