Generic filters
Generic filters

Mesurador de flux màssic Sèrie GF40

Múltiples gasos en un sol dispositiu equivalen a la màxima flexibilitat i productivitat del procés. Els controladors i mesuradors de flux màssic segellats amb elastòmer de la sèrie GF40 amb l’exclusiva tecnologia MultiFlo™ de Brooks Instrument són l’elecció perfecta per a sistemes, processos i instal·lacions que utilitzen una varietat de gasos, canvien sovint de tipus de gas o necessiten canviar de rang alhora que preserven la precisió del mesurament i el control. Permet un nou nivell de flexibilitat de procés combinat amb un rendiment de mesura i control de flux sense precedents.

 

Aplicacions

  • Sistemes de deposició química de vapor per cèl·lules solars
  • Bioreactors per a ciències de la vida
  • Processos de buit
  • Nanotecnologia/Fabricació de MEMS
  • Sistemes de recobriment per plasma, vidre i bobina

Especificacions

 

Estabilitat zero <±0.5% FS per any
Vàlvula de tancament Tanca la vàlvula quan el punt d’ajust cau per sota de l’1,5% del fons d’escala.
Nombre d’ubicacions 10 Cubs
Rang de control 2-100%
Configurabilitat Multi-Gas i Gamma MultiFlo™ Disponible
Temps de resposta Vàlvula normalment tancada: 300 ms -< 1 seg.
Linealitat ±0.5% FS (inclòs a la precisió)
Repetibilitat 0.20% SP
Precisió 1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%
Rang de flux (capacitat d’escala completa) 3 sccm – 50 slpm
Diferenciador Alta Precisió
MultiFlo™ Capacitat
Grandària compacta
Adequat per a un conjunt complet de gasos
Coeficient de pressió 0.03% per psi (0-50psi N 2 )
Rang de temperatura 5-50oC (41-122oF)
Pressió Màxima 150 psig/10 barra
Rang de pressió diferencial 3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid
7201-55000 sccm = 25-45 psid
*Per obtenir més informació, poseu-vos en contacte amb el servei d’assistència tècnica de Brooks.

Integritat de les fuites 1×10-10 atm cc/sec He
Material del segell Segell d’elastòmer
Acabat de la superfície 32µ inch Ra
Materials mullats Acer inoxidable 316, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055
Opcions de vàlvules Normalment tancat
Normalment obert
Mesurador (sense vàlvula)
Capacitat de diagnòstic Disponible
Diagnòstic / Port de servei Disponible
Grandària Disponible
Compliment de la normativa mediambiental Directiva RoHS (2011/65/EU)
REACH Directiva CE 1907/2006
Certificacions/Aprovacions CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
Seguretat EN61010-1
Font d’alimentació / Consum Analògic / RS-485
De +12 Vcc a +24 Vcc: 7 Watt/8 Watt DeviceNet™
De +11 Vcc a +25 Vcc: 7 Watt/8 Watt EtherCAT® / Profibus
De +13,5 Vcc a +27 Vcc: 7 watts/8 watts
Connexió elèctrica DeviceNet™: 1 x M12 amb rosca roscada (B)
EtherCAT®: M8 de 5 pols amb rosca roscada/2 x RJ45
Profibus®: 1 x 15 contactes Mascle Sub-D/1 x 9 contactes femella Sub-D
RS485: 1 x 15 contactes Sub-D mascle, (A)
Comunicació Digital DeviceNetTM
EtherCAT
Profibus®.
RS485
Comunicació analògica 0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA

Productes relacionats

Sol·licitar informació