Models GF125 / GF126
Temps de resposta ultraràpids i el més alt nivell de puresa: la sèrie GF125 és la segona generació de controladors i mesuradors de flux màssic multivariables, insensibles als transitoris de pressió (PTI) i amb segellat metàl·lic. El primer a portar al mercat la tecnologia de control de flux màssic PTI, el GF125 minimitza la variació del flux de gas de procés a causa de les fluctuacions de pressió i temperatura. La tecnologia estàndard MultiFlo™ permet que un MFC admeti milers de tipus de gas i combinacions de rangs sense treure’l de la línia de gas ni comprometre’n la precisió.
El resultat: mida i cost reduïts dels panells de gas, en eliminar la necessitat de reguladors de pressió al punt d’ús, transductors de pressió i maquinari associat, combinat amb el millor rendiment PTI del sector per maximitzar els rendiments i la productivitat.
Specifications |
| Tipus de producte | Controlador de flux màssic |
| Diferenciador | Puresa ultra alta Temps de resposta ultraràpid Insensibilitat transitòria a la pressió |
| Rang de flux (capacitat d’escala completa) | 3 sccm – 300 slm |
| Precisió | ±1% NA> 35-100% NA ±0.35% FS 2-35% |
| Repetibilitat | ±0.15% SP |
| Linealitat | ±0,5% FS (inclòs en la precisió) |
| Temps de resposta | 300ms -< 1 seg. |
| Temps de resposta | Vàlvula normalment oberta:< 1,5 seg. (només models específics) |
| Configurabilitat Multi-Gas i Gamma | MultiFlo™ Estàndard (la majoria dels models) |
| Insensibilitat transitòria a la pressió | <PS de fins a 5 psi/seg. de pressió d’entrada |
| Rang de control | <5-100% |
| Nombre d’ubicacions | Sèrie GF estàndard: 11 cubs Sèrie GF d’alt cabal: 4 cubs |
| Vàlvula de tancament | <2% FS |
| Estabilitat zero | <0.5% FS per any |
| Coeficient de Temperatura de Flux | Span: 0.05% SP per °C Zero: 0.005% FS per °C |
| Material del segell | metal·lúrgic |
| Nivell de puresa / Acabat de la superfície | 4 – 5µ polzades Ra |
| Materials mullats | Compleix amb SEMI F20 HP 316L VIM/VAR Hastelloy C-22 Acer inoxidable 316L Acer inoxidable 304 KM-45 |
| Opcions de vàlvules | Normalment tancat Normalment obert (models específics) Mesurador (sense vàlvula) |
| Temperatura màxima | 50 o C |
| Rang de pressió diferencial | 3-860 sccm = 7-45 psid 861 – 7200 sccm = 10 – 45 psid 7201 – 55000 sccm = 15 – 45 psid 51 – 300 slm = 30 – 90 psid *Pèrdues de càrrega típiques. Per obtenir més informació, poseu-vos en contacte amb el servei d’assistència tècnica de Brooks. |
| Pressió Màxima | Sèrie GF estàndard: 100 psia màx. Sèrie GF d’alt cabal: 75 psig (controlador), 150 psig (mesurador) |
| Integritat de les fuites | 1×10-10 atm cc/sec He |
| Capacitat de diagnòstic | Disponible |
| Llums d’estat | MFC Salut Estat de la xarxa |
| Alarmes | Sortida de la vàlvula de control Interrupció de la xarxa |
| Diagnòstic / Port de servei | RS485 mitjançant un connector de 2,5 mm (tots els models) |
| Pantalla | LCD integrat de muntatge superior Angle de visió: Fix Distància de visió: 10 peus Unitats mostrades: Cabal (%), Temperatura (°C), Pressió (psia, kPa) Resolució: 0,1 (unitat) |
| Comunicació analògica | 0-5 Vcc |
| Comunicació Digital | DeviceNet™ Protocol L RS485 |
| Connexió elèctrica | Analògic/RS485 a través de connector “D” de 9 clavilles DeviceNet™ a través del connector “M12” de 5 pols Diversos adaptadors de cable disponibles. Consulteu el full de dades del producte per obtenir més informació. |
| Font d’alimentació / Consum | Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%) DeviceNet™: 545 mA màx @ 11-25 Vdc, 250 mA màx @ 24 Vdc (Under typical operating conditions) |
| Compliment de la normativa mediambiental | Directiva RoHS (2011/65/EU) REACH Directiva CE 1907/2006 |
| CEM | EC Directive 2004/108/EC CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing) |
