Models 5850EMH / 5851EMH
El controlador de cabal màssic segellat metàl·lic d’alta temperatura sèrie 5850EMH de Brooks Instrument combina l’excel·lent integritat de fuites dels segells metàl·lics amb una varietat d’opcions que permeten la màxima flexibilitat d’aplicació. El cor de la sèrie 5850EMH és el sensor dʻalta estabilitat que proporciona un senyal de sortida elèctrica lineal amb cabal. Aquest senyal es fa servir per a fins d’indicació, enregistrament i/o control sense necessitat d’un circuit de posada a zero automàtica.
Especificacions |
| Tipus de producte | Controlador de flux màssic |
| Linealitat | Inclòs a la precisió. |
| Repetibilitat | <±0.25% SP |
| Precisió | 1% of FS |
| Rang de flux (capacitat d’escala completa) | 100 slm (N 2 equivalent) |
| Acompliment | Rang de flux més alt Tecnologia provada i fiable |
| Temps de resposta | <3 seg. fins al 2% de SP (per SEMI E17-91) |
| Estabilitat zero | |
| Mecànic | |
| Material del segell | Metall |
| Nivell de puresa / Acabat de la superfície | — |
| Materials mullats | 316L, 316L VAR, & high alloy ferric SS |
| Opcions de vàlvules | Normalment obert Normalment tancat |
| Temperatura màxima | 105 o C |
| Rang de pressió diferencial | 50 – 350 kPa (7 – 50 psid) |
| Pressió Màxima | 1 MPa (145 psi) |
| Integritat de les fuites | 1×10 -10 atm cc/sec He (1×10 -11 Pa m 3 /sec) |
| Font d’alimentació / Consum | ±15 Vdc @ 350 mA (màx) |
| Connexió elèctrica | Connector “D” de 15 clavilles |
| Comunicació Digital | – |
| Comunicació analògica |
0-5 Vdc |
| Capacitat de diagnòstic | – |
