Models VDM300
El mòdul de subministrament de vapor (VDM) de Brooks Instrument és un mòdul autònom d’alt rendiment per al subministrament d’alta precisió de vapor d’aigua desionitzat (DI) d’ultra alta puresa. Presenta un disseny d’alta eficiència energètica que permet la generació de vapor d’ultra alta puresa i baixa temperatura. Utilitza una tècnica de subministrament de vapor provada i la combina amb un control digital avançat i funcions de diagnòstic integrades en un paquet petit i convenient.
Dissenyat per a processos avançats de passivació en tira i postgravat de metall, el VDM ofereix una precisió millorada, cabals més alts, un rang de control més ampli i un consum d’energia més baix en comparació amb els sistemes d’evaporació flash. Basat en tècniques provades de mesurament del flux màssic tèrmic, el VDM produeix vapor en un estat de vapor no sobreescalfat, reduint els efectes agressius de l’aigua desionitzada, per a una fiabilitat millorada i un funcionament més net.
El VDM ofereix funcions de registre de dades i diagnòstic fàcils d’utilitzar a través d’un port de servei independent i una interfície gràfica d’usuari intuïtiva.
Característiques
|
Beneficis
|
Aplicacions
|
Especificacions |
Elèctric
Compliment de les qualificacions
| Tipus de producte | Mòdul de lliurament de vapor d’aigua DI |
| Diferenciador | Vapor DIW d’ultra alta puresa Precisió de flux més alta Disseny compacte Interfície EtherCAT |
| Mètode de vaporització | Aspiració de vapor |
| Tipus de fluid | Aigua desionitzada UHP |
| Rang de cabal (capacitat a escala completa) | 3000 sccm |
| Ràtio de baixada | 20:1 |
| Temps de resposta | <2 segons |
| Precisió | ±1% SP a> 10% de garantia de servei ±0,2% FS a 5 – 10% FS |
| Linealitat | ±0,5% de l’espai en execució |
| Repetibilitat | <±0,2% FS |
| Coeficient de temperatura de flux | 0,05% per °C zero i abast |
| Tancament de la vàlvula | Vàlvula normalment tancada:< 0,5% FS |
| Comunicació analògica | 0 a 5-24 V CC |
| Comunicació digital | EtherCAT mitjançant dos endolls RJ-45 Diagnòstic (RS485) via microUSB |
| Connexió elèctrica | 208-230 V CA, 50/60 Hz, 290 watts nominals (escalfador de dipòsit) ± 15 V CC, ± 5% a 1,2 amperes (escalfador MFC i PCBA) |
| Llums d’estat | Zero Dispositiu a punt Escalfament Error del dispositiu Error ECAT Execució d’EtherCAT Enllaç EtherCAT actiu |
| Port de diagnòstic/servei | RS-485 via microUSB |
| Accessoris | Sortida de vapor: VCR femella de 1/2″ Entrada d’aigua DI: VCR mascle de 1/4″ o compressió de tub Desguàs d’aigua DI: connexió de tub instantània de 1/8″ |
| Orientació de muntatge | Vertical amb els accessoris d’entrada DIW avall |
| Pressió màxima | Sortida de vapor: 200 torr |
| Pressió de subministrament | Aigua desionitzada: 10 – 40 psig Purga de N2 : 10 – 40 psig |
| Rang de temperatura ambient | 15 – 45 °C |
| Volum intern | 0 a 95% HR, sense condensació |
| Compatibilitat electromagnètica (EMC) | Compatibilitat electromagnètica (EMC): Totalment conforme amb la Directiva 2004/108/CE (EN: 61326-1:2013) Directiva de baixa tensió (LVD): Totalment conforme amb la Directiva 2006/95/CE (EN: 61010-1:2010) |
| Compliment ambiental | Directiva RoHS (2011/65/UE) Directiva REACH CE 1907/2006 SEMI E54.20-1108: Estàndard per a la comunicació de xarxa de sensors/actuadors per a EtherCAT® |
