Models 5850EM / 5851EM
Els controladors de flux màssic segellats metàl·licament de la sèrie 5850EM mesuren i controlen els fluxos de gas d’alta pressió en entorns ultranets amb una estabilitat provada basada en el rendiment dels MFC de les sèries 5850E ei, àmpliament utilitzats. La seva construcció metàl·lica segellada i les superfícies humides electropolides asseguren una excel·lent integritat del flux i ajuden a millorar l’eficiència general del procés en eliminar la necessitat de monitoratge continu i reajustament de les pressions de gas per proporcionar un flux de gas estable.
Especificacions |
| Tipus de producte | Controlador de flux màssic |
| Diferenciador | Gran base instal·lada amb un rendiment provat a llarg termini |
| Rang de flux (capacitat d’escala completa) | .06 sccm – 30,000 sccm |
| Precisió | 1% FS incl. linealitat 1,5% FS incl. linealitat> 20 slpm |
| Repetibilitat | 0,2% de la taxa |
| Linealitat | ±0,5% FS (inclòs en la precisió) |
| Temps de resposta | Vàlvula normalment tancada:< 3 seg. Opcional: 600 mseg. |
| Configurabilitat Multi-Gas i Gamma | – |
| Insensibilitat transitòria a la pressió | – |
| Rang de control | 2-3% – 100% |
| Nombre d’ubicacions | N/A |
| Vàlvula de tancament | N/A |
| Estabilitat zero | <0.5% FS per any |
| mecànic | |
| Material del segell | metal·lúrgic |
| Nivell de puresa / Acabat de la superfície | 316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel |
| Materials mullats | Seient de la vàlvula: 316L, fluoroelastòmers Viton®, Buna-N, Kalrez® o Teflon®. |
| Opcions de vàlvules | Normalment tancat, normalment obert Mesurador (sense vàlvula) |
| Temperatura màxima | 65 o C |
| Rang de pressió diferencial | 5 – 50 psi (depenent del gas i del rang) |
| Pressió Màxima | 1500 psi |
| Integritat de les fuites | 1×10-10 atm cc/sec He |
| Capacitat de diagnòstic | – |
| Llums d’estat | MFC Health, Estat de la xarxa |
| Alarmes | Sortida de la vàlvula de control, interrupció de la xarxa |
| Diagnòstic / Port de servei | N/A |
| Elèctric | |
| Comunicació analògica | 4-20 mA 0-5 Vcc |
| Comunicació Digital | – |
| Connexió elèctrica | Connector D de 15 clavilles (DA-15P) |
| Font d’alimentació / Consum | Vàlvula normalment tancada: 3,25 watts Vàlvula normalment oberta: 10,5 watts |
| Compliment | |
| Compliment de la normativa mediambiental | N/A |
| EMC | (89/336/CEE) per 61326 |
