El controlador de pressió i mesurador de flux segellat de metall o elastòmer model 5866RT de Brooks controla la pressió mentre que també mesura el cabal. El model 5866RT rep un senyal de transductor de pressió remot, i usant una electrònica de control PID integrada i una vàlvula de control ajustables, mantindrà la pressió d’ajust desitjada. Amb opcions en segells, superfícies humides electro-polides i un ampli rang de mesura de pressió i flux, el 5866RT ofereix resultats comprovats en una àmplia gamma de processos.
Especificacions |
| Tipus de producte | Controlador de pressió i mesurador de flux |
| rang de temperatura | 0 – 65°C |
| Pressió Màxima | 1500 psig |
| Qualificacions | |
| Temps de resposta | Temps de resposta de la pressió: < 0.8 seg. típic per a un pas d’ordre de 0-100% amb un excés de pressió de< 2%. La resposta real de la pressió depèn del disseny del sistema. |
| Rang de control de pressió | 100:1 per a un transductor remot amb una sortida de 0-10 V |
| Rang de pressió | Depèn del transductor de pressió remot |
| Coeficient de Temperatura de Flux | 0,1% FS per °C |
| Repetibilitat | ±0.25% de la taxa |
| Precisió | Precisió de flux: ±1% FS incloent linealitat en les condicions de calibratge ±1,5% FS per a cabals superiors a 20 slm |
| Precisió de flux: ±1% FS incloent linealitat en les condicions de calibratge ±1,5% FS per a cabals superiors a 20 slm |
Qualsevol rang de 0 a 3 sccm a 0-30.000 sccm N2 Ec. |
| Diferenciador | Transductor remot Control de Pressió i Mesurament de Flux |
| Integritat de les fuites | Dins i Fora de borda Segell metàl·lic: 1 x 10-10 atm cc/sec He max Junta d’elastòmer: 1 x 10-9 atm cc/sec He max |
| mecànic | |
| Material del segell | Elastòmer o metall |
| Peces en contacte amb el medi: Acer inoxidable estàndard 316L/316L VAR Seient de la vàlvula: Fluoroelastòmers estàndard de Viton® o metall Segells externs/interns: flouroelastòmers o metall Opcional: Buna-N, Teflon o Kalrez. |
|
| Opcions de vàlvules | Normalment tancat Normalment obert No Vàlvula (elastòmer, només configuració aigües amunt) |
| Elèctric | |
| Comunicació analògica | 0-5 V |
| Comunicació Digital | — |
| Connexió elèctrica | Connector “D” de 15 clavilles |
| envergadura | Compacte |
| EMC | Directiva de compatibilitat electromagnètica 89/336/CEE EN 61326-1 |
| Certificacions/Aprovacions | — |
| Compliment | |
| Capacitat de diagnòstic | |
| Font d’alimentació / Consum | Normalment tancat: 3,5 watts; +15 Vcc (±5%) @ 35 mA, -15 Vcc (±5%) @ 180 mA Normalment obert: 10,5 watts; ±15 Vcc (±5%) @ 350 mA |
